環(huán)境掃描電子顯微鏡工作原理：電子與樣品中的原子相互作用，產生包含關于樣品的表面測繪學形貌和組成的信息的各種信號。電子束通常以光柵掃描圖案掃描，并且光束的位置與檢測到的信號組合以產生圖像。掃描電子顯微鏡由電子槍發(fā)射出電子束，在加速電壓的作用下經過磁透鏡系統(tǒng)匯聚，形成電子束，聚焦在樣品表面上，在第二聚光鏡和物鏡之間偏轉線圈的作用下，電子束在樣品上做光柵狀掃描，電子和樣品相互作用產生信號電子。這些信號電子經探測器收集并轉換為光子，再經過電信號放大器加以放大處理，成像在顯示系統(tǒng)上。
 

　　環(huán)境掃描電子顯微鏡的儀器特點：
 

　?、倌軌蛑苯佑^察樣品表面的結構。
 

　?、跇悠分苽溥^程簡單，不用切成薄片。
 

　?、蹣悠房梢栽跇悠肥抑凶魅瓤臻g的平移和旋轉，因此，可以從各種角度對樣品進行觀察。
 

　　④景深大，圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍。
 

　?、輬D象的放大范圍廣，分辨率也比較高?？煞糯笫畮妆兜綆资f倍，它基本上包括了從放大鏡、光學顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學顯微鏡與透射電鏡之間。
 

　　⑥電子束對樣品的損傷與污染程度較小。
 

　?、咴谟^察形貌的同時，還可利用從樣品發(fā)出的其他信號作微區(qū)成分分析。
 

　　環(huán)境掃描電子顯微鏡由三大部分組成：真空系統(tǒng)，電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)。
 

　　1.真空系統(tǒng)：主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個密封的柱形容器。真空泵用來在真空柱內產生真空。
 

　　2.電子束系統(tǒng)：由電子槍和電磁透鏡兩部分組成，主要用于產生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成像。
 

　　3.成像系統(tǒng)：電子經過一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會產生次級電子、背散射電子、俄歇電子以及X射線等一系列信號。