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PREVAC 傅里葉變換紅外光譜統(tǒng)

PREVAC FTIR光譜系統(tǒng)專為紅外光譜研究而設(shè)計(jì)。PREVAC FTIR光譜系統(tǒng)配備了精密的樣品定位機(jī)制、觀察窗口以及未來設(shè)備的備用端口。PREVAC FTIR光譜系統(tǒng)包括玻璃端口，并且已為與布魯克光譜公司（Bruker Optics Inc.）的紅外光譜儀配合使用做好了準(zhǔn)備。根據(jù)需要，也可以與其他市售光譜儀進(jìn)行接口連接。

PREVAC 傅里葉變換紅外光譜統(tǒng)

PREVAC FTIR光譜系統(tǒng)技術(shù)特征：

UHV-HP 平臺(tái)用于傅里葉變換紅外光譜（FTIR）
液氮（LN2）或液氦（LHe）冷卻解決方案
紅外透射和反射模式
透射模式下可選配 DRIFT、ATR、RAIRS 功能
具有差分抽氣的KBr觀察窗口
針對(duì)布魯克光譜公司（Bruker Optics Inc.）的紅外光譜儀進(jìn)行優(yōu)化（根據(jù)需要，也可以與其他市售光譜儀進(jìn)行接口連接）
獨(dú)立的光譜儀框架，易于斷開連接
模塊化框架，準(zhǔn)備擴(kuò)展

PREVAC FTIR光譜系統(tǒng)可選組件：
TDS 熱解吸光譜
IS40C1 清洗離子源
氣體加注系統(tǒng)
寬范圍壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)（1 mbar – 10^-10 mbar）

PREVAC 磁控濺射系統(tǒng) 032 PRIMS basic MS system是一款使用簡(jiǎn)單但功能齊全的濺射沉積單元，用于可重復(fù)的薄膜層應(yīng)用。即插即用緊湊型設(shè)計(jì)。

磁控濺射系統(tǒng) 032 PRIMS basic MS system工藝室包含3個(gè)用于磁控濺射源（用于金屬和無機(jī)物）的端口，安裝在向下濺射配置中。最多同時(shí)使用兩個(gè)源（共沉積）襯底臺(tái)適用于直徑不超過2英寸的樣品，可選擇加熱和旋轉(zhuǎn)。

快速泵送系統(tǒng)（帶手動(dòng)節(jié)流閥）與小體積的工藝室相結(jié)合，使您能夠在短時(shí)間內(nèi)達(dá)到基本壓力。工藝室配有高壓標(biāo)準(zhǔn)的連接法蘭，用于連接當(dāng)前和未來的設(shè)備，包括：
多達(dá)3個(gè)磁控管源2“，
基板操縱器，
泵送系統(tǒng)，
防止交叉污染的防護(hù)罩，
石英天平，
視口–帶快門的觀察窗口，
真空計(jì)，
高溫計(jì)

磁控濺射系統(tǒng) 032 PRIMS basic MS system主要特征：

插頭和工作結(jié)構(gòu)
易于使用的移動(dòng)單元，用于快速測(cè)試和濺射涂層
帶有大型真空門的處理室，便于更換目標(biāo)或基板
配備MS2 100 ISO-K磁控管電源和新型M600DC-PS電源
用于直徑不超過2〃樣品的襯底臺(tái)
工藝室直徑：dst 355 mm
用于2英寸磁控管源的3個(gè)端口
1個(gè)視口-帶快門的觀察窗口
防止交叉污染的防護(hù)罩
基本壓力范圍10-7毫巴
帶真空計(jì)的快速泵送系統(tǒng)
Ar氣體質(zhì)量流量控制自動(dòng)加藥
車輪上的剛性主框架使系統(tǒng)易于放置
手動(dòng)節(jié)流閥