美國(guó)LumaSense 光管型高溫計(jì)的特點(diǎn)詳細(xì)說(shuō)明：

Photrix高溫計(jì)
單晶藍(lán)寶石用作光學(xué)鏡頭，又稱(chēng)光導(dǎo)管，可以da程度地發(fā)揮Photrix在侵蝕性的化學(xué)環(huán)境非接觸測(cè)溫的性能。該配置常用于真空處理室和反應(yīng)器中。

美國(guó)LumaSense 光管型高溫計(jì)詳細(xì)說(shuō)明：

PhotriX 系列高精度紅外測(cè)溫儀具有業(yè)界jia的信噪比. 能夠以無(wú)yu倫比的精度測(cè)量較低的溫度，以控制高價(jià)值工藝和研究應(yīng)用. 采用藍(lán)寶石光棒(所謂的 “光管”) 作為鏡頭收集來(lái)自目標(biāo)的紅外輻射. 光管鏡頭的優(yōu)點(diǎn)是可提供較低的溫度測(cè)量值，并易于集成到通常用于高級(jí)材料沉積（生長(zhǎng)）和蝕刻（去除）工藝的真空反應(yīng)器中.

光管型 Photrix 提供 4 種響應(yīng)波長(zhǎng)，具有以下特點(diǎn):

低溫測(cè)試能力 (詳見(jiàn)下表)

選配件包括模擬模塊 ( 4-20 mA 或 0-10V), 帶鏡頭吹掃的保護(hù)套, 8通道模塊。標(biāo)準(zhǔn)配置已包含所有必要的電纜，電源以及軟件和文檔.

典型應(yīng)用

• • 30 至 670 °C ，波長(zhǎng) 700-1650 nm

  • 70 至 110 °C ，波長(zhǎng) 1550 nm

  • 210 至 1300 °C ，波長(zhǎng) 900 nm

  • 220 至 1300 °C ，波長(zhǎng) 880

  • 快速響應(yīng) (1ms)

  • 測(cè)量精度 +/- 1.5 °C 或讀數(shù) 0.15% of reading

  • 重復(fù)精度 0.01 °C (see TN-828)

  • 半導(dǎo)體

  • CIGS太陽(yáng)能薄膜電沉積

  • 非晶硅薄膜沉積

  • CZ 晶體生長(zhǎng)

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