高輝度ハロゲン光源裝置

　　　　　

高輝度ハロゲン光源裝置は、半導(dǎo)體ウエハーおよび液晶基板の加工途中で最も
人手が掛る最終仕上面の異物、スクラッチ、研磨ムラ、ヘイズ、スリップ等の
様々な欠陥検出をするためのマクロ観察用照明裝置です。

---

概要

　　1.　試料表面を400,000Lx以上に照明することができます。

　　2.　光源にはハロゲンランプを使用しているため色溫度は高く、照明ムラが少なく
　　　　、非常に安定したシャープな照明となっています。

　　3.　コールドミラーの使用により熱の影響が従來(lái)のアルミミラーの1/3と極端に
　　　　少なくなっています。

　　4.　2段切換機(jī)構(gòu)により、高照度観察、低照度観察をワンタッチで切換えることが
　　　　できます。
　　　　YP-150I???照度範(fàn)囲　φ30
　　　　YP-250I???照度範(fàn)囲　φ60
　　　?。╕P-250Iはプロペラファン型とダクトファン型を選ぶことができます。）