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spectra在線膜厚測(cè)量裝置技術(shù)分析
閱讀:777 發(fā)布時(shí)間:2023-5-30spectra在線膜厚測(cè)量裝置技術(shù)分析
使用小型卡爾蔡司光譜儀,根據(jù)形狀和尺寸對(duì)每種應(yīng)用進(jìn)行樣品包裝。
從薄膜和圓盤形狀到玻璃板和圓柱狀物體,如果同時(shí)使用顯微光學(xué)系統(tǒng),則可以將光線縮小到細(xì)點(diǎn),并輕松測(cè)量樣品的薄膜厚度。
可測(cè)量樣本示例
硅、氧化硅、氮化硅
砷化鎵
二氧化鈦
光刻 膠
染料膜、油膜和彩色濾膜
影片
涂料和粘合劑
紫外光固化樹脂
金屬氧化膜、介電膜
聚合體
空氣層
光盤、中藥、光盤
以1200mm薄膜厚度測(cè)量包為例,我們將介紹Enplanner。
該系統(tǒng)可以測(cè)量長(zhǎng)薄膜的薄膜厚度線輪廓。 安裝在執(zhí)行器上的光譜反射測(cè)量單元的最大行程為 1200 mm,可移動(dòng)并測(cè)量薄膜厚度。 圖表顯示在顯示屏上,可以保存和打印測(cè)量數(shù)據(jù)。
產(chǎn)品規(guī)格
測(cè)量厚度范圍 | 0.5-100um(光學(xué)厚度)實(shí)際厚度是將上述除以折射率得到的值 |
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保障 | 區(qū)域傳感器、急停開關(guān)、聯(lián)鎖 |
測(cè)量時(shí)間 | 15分鐘,1200毫米 |
權(quán)力 | AC100V?50,60Hz?5A以下 |
測(cè)量位置 | 設(shè)置在 0 到 1200 mm 之間,間距為 1 mm |
寬度分辨率 | 0.1-200mm可任意設(shè)定 |
寬度位置精度 | ±0.02毫米 |
設(shè)置波長(zhǎng)范圍 | 400-1000納米 |
設(shè)置發(fā)光部分 | 5倍物鏡 |
測(cè)量光斑直徑 | φ1毫米 |