適用于60系列 半導(dǎo)體工藝產(chǎn)品特點(diǎn)分析

介紹Flowel株式會(huì)社的各種產(chǎn)品，包括多年來(lái)受到半導(dǎo)體行業(yè)和其他行業(yè)好評(píng)的“氟樹(shù)脂接頭"。

適用于60系列
半導(dǎo)體工藝

可提供專(zhuān)用夾具
?高性能擴(kuò)口型接頭
?優(yōu)異的液體置換特性
?用途：涂布機(jī)、顯影機(jī)

特征

采用國(guó)內(nèi)的喇叭形密封方式。本體和螺母形狀均具有的結(jié)構(gòu)，接近地滿(mǎn)足客戶(hù)的要求：清潔安全、不積液、不泄漏、無(wú)需重新擰緊，性能配備。非常適合防止 CMP 漿料結(jié)塊、光刻膠起泡和膠凝以及蝕刻和剝離溶液泄漏。

• 高性能火炬配件

• 本體前端及螺母內(nèi)部進(jìn)行錐度加工的結(jié)構(gòu)

• 顯著改善液體替代特性

• 準(zhǔn)備兩種類(lèi)型的施工方法：冷火炬和熱火炬。

• 最高工作溫度：100℃

• 適用管材尺寸： φ3mm 至 φ25mm、φ1/8″ 至 φ1″

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