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詳細(xì)介紹
日本昭和SSC超精密加工機(jī)用隔震臺(tái)AT規(guī)格
- ?固有振動(dòng)數(shù)：約3.0Hz
- ?高減衰：共振倍率約3倍
- ?高耐久性
- ?付內(nèi)部過(guò)浮上防止機(jī)構(gòu)
- ?付自動(dòng)水平調(diào)整器
- ?付減衰機(jī)構(gòu)
- ?可依據(jù)機(jī)臺(tái)規(guī)格客制化
- ?半導(dǎo)體檢查機(jī)臺(tái)
- ?液晶檢查機(jī)臺(tái)
- ?LaserRepair機(jī)臺(tái)
- ?Inspection機(jī)臺(tái)
- ?SEM、TEM
- ?超精密加工機(jī)
- ?光學(xué)機(jī)臺(tái)
日本昭和SSC超精密加工機(jī)用隔震臺(tái)AT規(guī)格
| 型 式 | AT-120 | AT-250 | AT-415 | AT-615 | AT-855 |
|---|---|---|---|---|---|
| 規(guī)格：A×B (E)mm | 230×230(233) | 230×230(260) | 330×330(340) | 360×360(370) | 420×420(460) |
| 規(guī)格： C×Dmm | 210×210 | 210×210 | 300×300 | 330×330 | 390×390 |
| 規(guī)格： Hmm | 148 | 148 | 170 | 170 | 170 |
| 質(zhì) 量 (kg/個(gè)) | 7.5kg | 7kg | 15kg | 18kg | 20kg |
| 搭載可能重量(kg/個(gè)) | 450kg | 1000kg | 1,500kg | 2,400kg | 3,000kg |
| 固有振動(dòng)數(shù) | 水平?垂直：約3.0Hz | ||||
| 水平方法 | 使用自動(dòng)水平調(diào)整器來(lái)維持水平 | ||||
| 供給空氣源(MPa) | 0.4～0.6 | ||||
| 附屬品 | 氣壓調(diào)節(jié)閥(1個(gè))、φ6塑膠管(10m)、T型連結(jié)管(2個(gè)) | ||||
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