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詳細介紹
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701AT
特征
- 排氣→涂層（蝕刻）→全自動，直到進入大氣
- 盡管是緊湊型，但仍可以進行膜厚控制（簡單型）
- 全自動濺射設備，操作簡便，重現(xiàn)性高
- 配備涂層/蝕刻模式
應用/結果示例
- 各種設備的電極膜附件
- 用于制造反射薄膜等的應用
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701AT
基本規(guī)格
| 陰極 | φ2英寸/ 2極面對電極 |
| 濺射靶 | 包含金靶 |
| 蝕刻目標 | 包括Al目標 |
| 膜厚設定方法 | 預設方法/帶膜厚監(jiān)視器的數字顯示 |
| 氣體導入機制 | 針閥 |
| 真空泵 | 直連式旋轉泵：20l / min（帶自動泄漏） |
| 排氣操作 | 自動的 |
| 箱體尺寸 | 內徑φ120mm x D120 mm（SUS制） |
| 樣品交換方法 | 前門開合式 |
| 尺寸（寬/深/高） | 主體：225/420 / 320mm RP：300/160 / 200mm |
| 重量 | 身體：15公斤 RP：9公斤 |
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