內(nèi)置式陶瓷氣體過濾器

日本pureron內(nèi)置式陶瓷氣體過濾器PGF系列
在超微LSI制造工藝中，要求必須將原料氣體以高純度的狀態(tài)輸送到使用點(diǎn)。因此原料氣體的高純度化自不必言說，管道系統(tǒng)的超凈化亦是一大重點(diǎn)。Pureron Japan 為順應(yīng)這一時代的需求，研制出了在元件中使用了陶瓷的全新過濾器，從而實(shí)現(xiàn)了具有長久穩(wěn)定狀態(tài)的0.003μm的高過濾精度。

日本pureron內(nèi)置式陶瓷氣體過濾器PGF系列

 

• 高過濾精度
  在超微LSI制造工藝中，要求必須將原料氣體以高純度的狀態(tài)輸送到使用點(diǎn)。因此原料氣體的高純度化自不必言說，管道系統(tǒng)的超凈化亦是一大重點(diǎn)。Pureron Japan 為順應(yīng)這一時代的需求，研制出了在元件中使用了陶瓷的全新過濾器，從而實(shí)現(xiàn)了具有長久穩(wěn)定狀態(tài)的0.003μm的高過濾精度。
• 蝕刻和薄膜形成時必*高選擇性
  在追求高選擇性的過程中，極其重要的一點(diǎn)是去除水、氧氣等不純物的問題。為了切實(shí)地做到去除不純物，首先必*，是在高溫狀態(tài)下進(jìn)行烘烤。從該觀點(diǎn)出發(fā)研制出的陶瓷過濾器可進(jìn)行200℃的高溫烘烤。
• 零維護(hù)實(shí)現(xiàn)成本削減
  能夠根據(jù)粒子粒徑大小分階段進(jìn)行過濾的三層結(jié)構(gòu)，因此幾乎不會有堵塞的問題。并且與以往的過濾器相比，具有高耐久性、高耐熱性特征的陶瓷過濾器不會在使用過程中出現(xiàn)故障。所以不會因生產(chǎn)線暫時中斷而帶來經(jīng)濟(jì)損失，并可長期持續(xù)地削減成本。

日本pureron內(nèi)置式陶瓷氣體過濾器PGF系列

規(guī)格

 

過濾精度	0.003μm（但是，純水過濾時は0.1μm）
推薦流量	10～200?/min（各型號區(qū)別：參考流量特性曲線)
設(shè)計(jì)壓力	17MPa (2,465PSIG) at20℃	本產(chǎn)品全部經(jīng)過14.7MPa的耐壓測試后出貨。但是，依據(jù)日本國內(nèi)的高壓氣體保安法，最高使用壓力的顯示和使用是不超過1MPa。關(guān)于1MPa以上的高壓煤氣認(rèn)定品，請?jiān)儐栁覀儭?/td>
常用壓力	1MPa(145PSIG)未滿
最大容許差壓	9.6MPa (1,392PSIG) at20℃
最高連續(xù)使用溫度	120℃
烘烤溫度	200℃
外部泄漏量	2×10-11Pa?m3/sec以下
構(gòu)成材料	外罩：SUS316L　內(nèi)表面粗糙度：Rmax0.7μm以下　元素：氧化鋁陶瓷(Al2O3)　 密封圈：PTFE
連接零件	1/4"、3/8"、1/2"、3/4"　Gasket seal、 Compression seal、UPG®、其它