集成電路用超純水設備

集成電路用超純水設備

集成電路用超純水設備特點：

1、產水水質高，出水穩(wěn)定

2、連續(xù)不間斷制水，不因再生而停機

3、自動化程度高，遇故障立即自停，具有自動保護功能

4、不須酸堿再生，無污水排放，無酸堿再生設備和化學藥品儲運

5、*的膜保護系統(tǒng)，關機時可自動沖洗膜面污染物，延長膜使用壽命

6、能耗低，水利用率高，運行費用及維修成本低

7、設備結構緊湊，占地面積小，節(jié)省基建投資

超純水設備技術參數

材質：不銹鋼/玻璃鋼

超純水設備使用說明

EDI (連續(xù)電解除鹽技術) ：是一種將離子交換技術、離子交換膜技術和離子電遷移技術相結合的純水制造技術。EDI設施的除鹽率可以高達99%以上，如果在EDI之前使用反滲透設備對水進行初步除鹽，再經EDI除鹽就可以生產出電阻率高達15MΩ. CM以上的超純水。

FEDI：獨立的分段設計，進水要求低，產水電導率40us/cm以下的單級反滲透既可以滿足供水要求。使用不同的電壓驅動，對強弱離子分離去除，為去離子創(chuàng)造良好條件，產水導電率可達0. 1us/cm以下。濃水可回收至反滲透系統(tǒng)，綜合回收率高達90%-95%。

拋光混床：一般情況用在工藝末端，用來進一步提高產水水質。采用高交換容量、充分再生、無化學析出的核子級樹脂，去除純水中殘余的微量帶電離子及弱電解質，使水質達到18MΩ. CM以上。

電子超純水設備采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級紫外殺菌處理等方法，將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。出水水質符合我國電子工業(yè)部電子級水質試行標準、水質技術標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準)。