SuperViewW1光學(xué)3D輪廓測(cè)量?jī)x可廣泛應(yīng)用于微機(jī)電、為納米材料、光學(xué)加工、超精密加工、3C電子、半導(dǎo)體等行業(yè)中精密元器件的表面粗糙度、幾何輪廓等參數(shù)的測(cè)量和分析。對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、面形輪廓、腐蝕情況、粗糙度、臺(tái)階高度等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能；

2）測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；

3）測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

產(chǎn)品特點(diǎn)

參數(shù)測(cè)量：粗糙度、微觀輪廓尺寸、角度、面積、體積，一網(wǎng)打盡；

環(huán)境噪聲檢測(cè)：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，納米波動(dòng)，也無(wú)可藏匿；

雙重防撞保護(hù)：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石"也能安然無(wú)恙；

自動(dòng)拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋，讓3D拼接“天衣無(wú)縫"；

雙重振動(dòng)隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動(dòng)山搖，我自巋然不動(dòng)"。

SuperViewW1光學(xué)3D輪廓測(cè)量?jī)x是一款用于精密器件及材料表面的亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。只需要操作者裝好被測(cè)工件，在軟件里設(shè)好視場(chǎng)參數(shù)，把物鏡調(diào)節(jié)到被測(cè)工件表面，選擇自動(dòng)聚焦后，儀器就會(huì)主動(dòng)找干涉條紋開(kāi)始掃描測(cè)量。然后自動(dòng)生成工件表面3D圖像，一鍵輸出反映工件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，完成工件表面形貌一鍵測(cè)量。