深圳市中圖儀器股份有限公司

PRODUCT DISPLAY

當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>輪廓儀>>粗糙度輪廓儀>> NS200探針式表面輪廓儀(臺(tái)階儀)

探針式表面輪廓儀(臺(tái)階儀)

參  考  價(jià): 600000

訂  貨  量: ≥1 臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào):NS200

品       牌:CHOTEST/中圖儀器

廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

所  在  地:深圳市

收藏
舉報(bào) 評價(jià)

更新時(shí)間:2024-07-24 17:00:34瀏覽次數(shù):1570次

聯(lián)系我時(shí),請告知來自 化工儀器網(wǎng)
產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 產(chǎn)品種類 接觸式輪廓儀/粗糙度儀
價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
NS200探針式表面輪廓儀(臺(tái)階儀)采用接觸式表面形貌測量,是傳統(tǒng)表面形貌測量的一個(gè)新發(fā)展,接觸力最小可達(dá)1mg,對測量表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用廣泛的微納樣品測量手段。

表面微觀特征是材料、化學(xué)、精密制造等領(lǐng)域的主要研究內(nèi)容,準(zhǔn)確地評價(jià)表面微觀形貌、表面特征等,對于相關(guān)材料的評定、性能的分析和加工工藝的改善都具有重要意義。在半導(dǎo)體、光伏、LED、MEMS器件、材料等領(lǐng)域,表面臺(tái)階高度、膜厚的準(zhǔn)確測量具有十分重要的價(jià)值,尤其是臺(tái)階高度是一個(gè)重要的參數(shù),對各種薄膜臺(tái)階參數(shù)的精確、快速測定和控制,是保證材料質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率的重要手段。


臺(tái)階儀用于樣品表面從微米到納米尺度的輪廓測量,可以進(jìn)行臺(tái)階高度、膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。NS200探針式表面輪廓儀(臺(tái)階儀)采用接觸式表面形貌測量,是傳統(tǒng)表面形貌測量的一個(gè)新發(fā)展,接觸力最小可達(dá)1mg,對測量表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用廣泛的微納樣品測量手段。


產(chǎn)品功能

1、臺(tái)階高度

能夠測量幾個(gè)納米到330μm的臺(tái)階高度。這使其可以準(zhǔn)確測量在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

2、紋理:粗糙度和波紋度

測量2D紋理,量化樣品的粗糙度和波紋度。軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分,并計(jì)算諸如均方根(RMS)粗糙度等20余項(xiàng)粗糙度參數(shù)。

3、形狀:翹曲和形狀

可以測量表面的2D形狀或翹曲。這包括對晶圓翹曲的測量,例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中,多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因。還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。

4、應(yīng)力:薄膜應(yīng)力

能夠測量在生產(chǎn)中包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件所產(chǎn)生的應(yīng)力。使用應(yīng)力卡盤樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。然后通過應(yīng)用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計(jì)算應(yīng)力。

5、接觸缺陷復(fù)檢:缺陷表面形貌


技術(shù)參數(shù)

技術(shù)測量:探針式表面輪廓測量技術(shù)

樣品觀測:光學(xué)導(dǎo)航攝像頭:500萬像素高分辨率 彩色攝像機(jī),F(xiàn)oV,1700*1400μm

平臺(tái)移動(dòng)范圍X/Y:電動(dòng)X/Y(100mm*100mm)(可手動(dòng)校平)


最大樣品厚度:50mm

載物臺(tái)最大晶圓尺寸:150mm(6吋),200mm(8吋)


臺(tái)階高度重復(fù)性:<1nm(測量1μm臺(tái)階高度,1δ)

垂直分辨力:分辨力<0.25 ?(量程為13um時(shí))


儀器尺寸: 640*626*534(mm)

儀器總重量:<50kg


儀器電源:100-240 VAC,50/60 Hz

使用環(huán)境:相對濕度:濕度 (無凝結(jié))30-40% RH


探針式表面輪廓儀(臺(tái)階儀)


NS200探針式表面輪廓儀(臺(tái)階儀)單拱龍門式設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性,大大降低了周圍環(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對測量信號(hào)的影響,提高了測量精度。廣泛應(yīng)用于大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備。

同類優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品

軸類零件輪廓度測量儀

型號(hào):SJ5800-100 參考價(jià): ¥536000
熱門推薦

觸針接觸式粗糙度輪廓儀

型號(hào):SJ5800-100 參考價(jià): ¥536000
熱門推薦

產(chǎn)品素線形狀輪廓掃描測量儀

型號(hào):SJ5800-100 參考價(jià): ¥536000
熱門推薦

零部件表面粗糙度輪廓測量儀

型號(hào):SJ5800-100 參考價(jià): ¥536000
熱門推薦

會(huì)員登錄

×

請輸入賬號(hào)

請輸入密碼

=

請輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標(biāo)簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~
撥打電話 產(chǎn)品分類
在線留言