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中圖儀器SJ6000機床校準激光干涉儀是一種能夠測量機床精度的高精度測量裝置。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
它利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點,在機床加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,還可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
測量原理
SJ6000機床校準激光干涉儀的測量原理主要包括相位測量和位移測量。相位測量是通過測量干涉條紋的相位差來計算被測量物體的形狀、位置等參數(shù);位移測量是通過測量干涉條紋的位移來確定物體的位移量。這兩種測量原理在不同應(yīng)用場景下有著各自的優(yōu)勢和適用性。
產(chǎn)品優(yōu)勢
1、激光干涉儀具有非常高的測量精度和重復(fù)性。
2、激光干涉儀可以實現(xiàn)非接觸式測量,不會對被測量物體造成損傷。
3、激光干涉儀具有實時性測量能力,能夠同時測量多個位置或參數(shù),提高測量效率。
產(chǎn)品應(yīng)用
1.測量機床導(dǎo)軌的直線度和平行度。
導(dǎo)軌是機床中的重要零部件,直線度和平行度的誤差會直接影響機床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測量導(dǎo)軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差,從而指導(dǎo)后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整。
2.測量機床工作臺的平面度和垂直度。
機床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量。通過激光干涉儀測量工作臺上的干涉條紋,可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺的不平整和非垂直狀態(tài),并及時進行調(diào)整和修正,確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。
3.測量機床主軸的同心度和軸向垂直度。
機床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機床加工精度的關(guān)鍵因素。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋,可以準確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達到標準要求,從而為后續(xù)的機床調(diào)整和校準提供依據(jù)。
4.其它
除了上述應(yīng)用,激光干涉儀還可以用于測量機床各個部件之間的相對位置和尺寸關(guān)系,從而檢測和糾正機床的裝配誤差。此外,激光干涉儀還可以用于檢測機床在運行過程中的變形和振動情況,及時發(fā)現(xiàn)機床的故障和異常狀態(tài),保證機床的穩(wěn)定性和可靠性。
對數(shù)控機床進行螺距誤差補償
部分技術(shù)規(guī)格
穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
動態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
預(yù)熱時間 | ≤ 6分鐘 |
工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
線性測量距離 | (0~80)m (無需遠距離線性附件) |
線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
角度軸向量程 | (0~15)m |
角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
平面度軸向量程 | (0~15)m |
平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m) |
直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m |
直線度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
垂直度軸向量程 | 短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m |
垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組
平行度測量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組
直線度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
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