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中圖儀器SJ6000數(shù)控機(jī)床線性激光干涉檢測儀以光波為載體,集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。
SJ6000數(shù)控機(jī)床線性激光干涉檢測儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
產(chǎn)品功能
(1)可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;
(2)可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
(3)可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);
(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
(5)具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
(6)支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
它利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn),在機(jī)床加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
在機(jī)床領(lǐng)域中的應(yīng)用
激光干涉儀是一種能夠測量機(jī)床精度的高精度測量裝置。它利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn),在機(jī)床加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
1.測量機(jī)床導(dǎo)軌的直線度和平行度。
導(dǎo)軌是機(jī)床中的重要零部件,直線度和平行度的誤差會(huì)直接影響機(jī)床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測量導(dǎo)軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差,從而指導(dǎo)后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整。
2.測量機(jī)床工作臺(tái)的平面度和垂直度。
機(jī)床工作臺(tái)的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量。通過激光干涉儀測量工作臺(tái)上的干涉條紋,可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺(tái)的不平整和非垂直狀態(tài),并及時(shí)進(jìn)行調(diào)整和修正,確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。
3.測量機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度。
機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機(jī)床加工精度的關(guān)鍵因素。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋,可以準(zhǔn)確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求,從而為后續(xù)的機(jī)床調(diào)整和校準(zhǔn)提供依據(jù)。
4.其它
除了上述應(yīng)用,激光干涉儀還可以用于測量機(jī)床各個(gè)部件之間的相對(duì)位置和尺寸關(guān)系,從而檢測和糾正機(jī)床的裝配誤差。此外,激光干涉儀還可以用于檢測機(jī)床在運(yùn)行過程中的變形和振動(dòng)情況,及時(shí)發(fā)現(xiàn)機(jī)床的故障和異常狀態(tài),保證機(jī)床的穩(wěn)定性和可靠性。
對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償
SJ6000激光干涉儀機(jī)床平行度直線度線性檢測儀非接觸式、高精度的特點(diǎn)使其適用于各種復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),不僅僅局限于運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌,還可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設(shè)備性能,減少維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間,為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式。
部分技術(shù)規(guī)格
穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
動(dòng)態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
預(yù)熱時(shí)間 | ≤ 6分鐘 |
工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
存儲(chǔ)溫度范圍 | (-20~70)℃ |
環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
線性測量距離 | (0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件) |
線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
角度軸向量程 | (0~15)m |
角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
平面度軸向量程 | (0~15)m |
平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m) |
直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m |
直線度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
垂直度軸向量程 | 短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m |
垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組
平行度測量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組
直線度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。
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