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honeywell氣體質(zhì)量流量傳感器概述
AWM700 系列氣體質(zhì)量流量傳感器， 放大; 流量/壓力范圍：±300 SLPM; 接口類型：22 mm。
AWM700 系列補(bǔ)償/放大氣體質(zhì)量流量傳感器憑借特殊設(shè)計(jì)的旁路流量外殼，可實(shí)現(xiàn)同軸流量測量。傳感器可測量高達(dá) 300 標(biāo)準(zhǔn)升/每分鐘 （SLPM） 的流量，同時(shí)通常產(chǎn)生壓降 1 inH2O。
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
honeywell氣體質(zhì)量流量傳感器概述
AWM40000 系列氣體質(zhì)量流量傳感器， 放大， 流量/壓力范圍：+ 1000 SCCM; 接口類型：岐管。
微橋氣體質(zhì)量流量傳感器的工作原理是熱傳遞。氣體質(zhì)量流量經(jīng)引導(dǎo)流過傳感元件的表面。輸出電壓與流過封裝進(jìn)出口的空氣或其他氣體質(zhì)量成正比。橋結(jié)構(gòu)能夠快速靈敏地響應(yīng)流過芯片的空氣或其他氣體氣流。中心加熱元件兩側(cè)的雙傳感元件還能指示氣流流過的方向和速率。
封裝的機(jī)械設(shè)計(jì)能夠輕松將其安裝在印刷電路板上。
微橋氣體質(zhì)量流量傳感器利用包裹在氮化硅薄膜中的熱電阻。這些電阻呈懸浮狀態(tài)，在硅片的刻蝕腔上方形成兩座橋。
芯片置于j確規(guī)格的氣流通道，提供可重復(fù)的流量響應(yīng)。
微橋式氣體質(zhì)量流量傳感器的小尺寸和熱隔離功能實(shí)現(xiàn)對氣流的極速響應(yīng)及高靈敏度。
加熱器電路通過提供與質(zhì)量流量成正比的輸出，*地降低環(huán)境溫度變化導(dǎo)致的輸出變化。裝置的輸出與電源電壓成比例，也與惠斯通電橋電路的差分電壓相對應(yīng)。
honeywell氣體質(zhì)量流量傳感器技術(shù)規(guī)格