在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，高精度和高穩(wěn)定性的環(huán)境是保障設(shè)備正常運(yùn)行和生產(chǎn)質(zhì)量的關(guān)鍵因素。為了確保合肥某半導(dǎo)體配套電子廠房的樓板微振動(dòng)值符合VC-B和VC-C等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，振迪檢測(cè)應(yīng)客戶委托，采用瑞典VMI振動(dòng)分析儀Viber X5，對(duì)廠房樓板進(jìn)行了全面的微震檢測(cè)。

Viber X5微振檢測(cè)儀，精準(zhǔn)檢測(cè)

振迪檢測(cè)此次使用的瑞典VMI Viber X5振動(dòng)分析儀，是進(jìn)口原裝微振動(dòng)檢測(cè)設(shè)備。該設(shè)備以其便攜、安裝方便、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和高解析度著稱，能夠在現(xiàn)場(chǎng)快速進(jìn)行振動(dòng)數(shù)據(jù)的采集和分析。Viber X5的頻率響應(yīng)范圍為0.15~32KHz，滿足高精密設(shè)備所需的微振動(dòng)檢測(cè)要求。

專業(yè)檢測(cè)，保障質(zhì)量

振迪檢測(cè)團(tuán)隊(duì)嚴(yán)格按照檢測(cè)流程，在廠房的二樓和三樓預(yù)定位置設(shè)置了三軸向振動(dòng)測(cè)點(diǎn)，分別測(cè)量垂直（V）、短軸（T）和長(zhǎng)軸（L）方向的振動(dòng)數(shù)據(jù)。每個(gè)測(cè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集時(shí)間為10分鐘，其中前7分鐘為背景振動(dòng)值，后3分鐘為人員步行振動(dòng)試驗(yàn)。這種嚴(yán)謹(jǐn)?shù)臋z測(cè)方法確保了數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可靠性。

在樓板剛性檢測(cè)方面，團(tuán)隊(duì)使用模態(tài)測(cè)試錘激發(fā)樓板的垂直振動(dòng)，通過(guò)測(cè)量其響應(yīng)來(lái)評(píng)估樓板的剛性。這些數(shù)據(jù)對(duì)于評(píng)估設(shè)備安裝后的振動(dòng)環(huán)境至關(guān)重要。

數(shù)據(jù)處理，科學(xué)分析

在數(shù)據(jù)處理環(huán)節(jié)，振迪檢測(cè)團(tuán)隊(duì)對(duì)所有測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行了過(guò)濾和篩選，去除人為干擾或不具代表性的部分。經(jīng)過(guò)基線校正和頻譜分析，將加速度數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為速度時(shí)間序列，并使用1/3倍頻程帶（RMS）和快速傅里葉變換（FFT）進(jìn)行深入分析。通過(guò)這些處理，團(tuán)隊(duì)能夠準(zhǔn)確評(píng)估廠房樓板的振動(dòng)特性，并將結(jié)果與精密設(shè)備振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行對(duì)比，確保環(huán)境符合要求。

結(jié)果報(bào)告，明確評(píng)估

最終，振迪檢測(cè)將所有數(shù)據(jù)和分析結(jié)果繪制成三軸向頻譜圖，詳細(xì)展示了樓板在不同振動(dòng)頻率下的加速度、速度和位移情況。通過(guò)這些圖表，客戶可以直觀地了解樓板的微振動(dòng)特性及其對(duì)設(shè)備運(yùn)行的潛在影響。

振迪檢測(cè)憑借VMI的檢測(cè)設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，成功完成了合肥某半導(dǎo)體配套電子廠房的微震檢測(cè)任務(wù)。我們的檢測(cè)結(jié)果不僅為客戶提供了詳實(shí)的數(shù)據(jù)支持，也為廠房的進(jìn)一步優(yōu)化和設(shè)備的安全運(yùn)行提供了重要保障。

振迪檢測(cè)始終致力于為客戶提供高質(zhì)量的振動(dòng)分析和檢測(cè)服務(wù)，以專業(yè)的態(tài)度和20年的技術(shù)沉淀，助力各類高精密制造企業(yè)實(shí)現(xiàn)更高效、更穩(wěn)定的生產(chǎn)環(huán)境。通過(guò)我們的努力，每一個(gè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)都將更加精準(zhǔn)可靠，讓您的設(shè)備在安全環(huán)境下運(yùn)行，保障生產(chǎn)順利進(jìn)行。