產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
氨氣純化裝置產(chǎn)品特點(diǎn):
● 原理簡單,結(jié)構(gòu)合理,能耗低
● 氣體指標(biāo)穩(wěn)定,雜質(zhì)含量低
● 可選配自動系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)無人值守
● 與氨分解裝置配套使用,亦可用于其它氣體的變溫吸附干燥
氨氣純化裝置技術(shù)指標(biāo):
● 壓力—— 0.1~ 0.5Mpa(跟進(jìn)需求壓力可調(diào)節(jié))
● 常壓露點(diǎn)——≤-60℃
● 處理氣量—— 3~ 500Nm3/hr
利用分子篩在不同溫度下對水吸附量不同的原理,通過常溫工作,加熱再生得到干燥的氨氣。生產(chǎn)高純氨的基本原理是是以工業(yè)一等品液氨(液氨等級劃分見表2)為原料,利用各種純化凈化手段生產(chǎn)高純氨。采用的純化方法視工業(yè)氨中所含雜質(zhì)的種類、數(shù)量、性質(zhì)和其最終所要達(dá)到的純度而定。一般氨中雜質(zhì)的種類和數(shù)量主要有:油份、烴類、H20、02、Ar、N2、H2、CO和CO2等。
純化技術(shù):對應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的高純氣體純度要求*,特別是影響半導(dǎo)體材料生長的氧、水以及其它雜質(zhì)含量必須達(dá)到ppm-ppb級.我們針對原料氣體的雜質(zhì)含量、理化性質(zhì),以高效吸附和高效精餾為主要純化方法,重點(diǎn)選擇選擇性好、吸附容量大、純化深度高的新型吸附劑、高性能催化劑,具有吸附和催化兩種功能,雜質(zhì)脫除達(dá)到使用要求。本工藝特別宜于規(guī)模化生產(chǎn)。