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日本無掩膜PALET DDB-701光刻系統(tǒng) 研發(fā)及小批量訂單利器

時間:2024-12-4閱讀:141
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DDB-701 是一款桌面臺式無掩模光刻系統(tǒng),具有以下特點
硬件特性#2024華為新品發(fā)布會#
  • 小型化設計:主機尺寸為 300mm(寬)×450mm(深)×450mm(高),結構緊湊,占用空間小,便于在實驗室等空間有限的環(huán)境中使用。

  • 內(nèi)置隔振機構:采用浮動結構有效抑制振動,確保光刻過程的精度和穩(wěn)定性,無需額外配備復雜的隔振臺,降低了對使用環(huán)境的要求。

  • 內(nèi)置真空吸油泵:可牢固固定工作臺上的基片或樣品,防止在光刻過程中發(fā)生位移,保證曝光的準確性。

  • 低使用成本:相比大型光刻設備,能源消耗和維護成本較低,且不需要使用冷卻液體和壓縮氣體等額外輔助設備,降低了設備運行的復雜性和成本。

  • 軟件特性

  • 用戶友好型接口:操作軟件界面簡潔直觀,易于上手,方便用戶進行操作和參數(shù)設置。

  • 簡易流程:光刻操作流程簡單,用戶將設計好的圖形導入軟件,選擇相應的曝光參數(shù)即可進行光刻操作,提高了工作效率。

  • 支持對準和曝光條件檢查:對于對準精度要求較高的光刻工藝,能夠提供準確的對準功能,用戶還可在軟件中檢查曝光條件,以便及時調(diào)整參數(shù),保證光刻效果。

  • 光刻性能

  • 曝光光源:采用 365nm(典型值)的 LED 光源,能量穩(wěn)定性高,使用壽命長,可滿足多種光刻膠的曝光需求。

  • 線寬精度:使用不同物鏡可實現(xiàn)不同的最小線寬,如使用 ×10 物鏡時,最小線寬可達 3μm;使用 ×2 物鏡時,最小線寬為 15μm。

  • 曝光面積:單次曝光面積因物鏡而異,使用 ×10 物鏡時,單次曝光面積為 1mm×0.6mm;使用×2 物鏡時,單次曝光面積為 5mm×3mm。最大曝光區(qū)域為 25mm×25mm(手動或自動連接)。

  • 兼容文檔格式:可接受的文檔格式豐富,包括 dxf、jpeg、png、bitmap、xps 等,方便用戶導入各種設計圖形。

該光刻系統(tǒng)適用于微電子器件、生物醫(yī)學、光子學器件、納米器件等領域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)
。不過,具體的性能和應用效果還會受到光刻膠、環(huán)境條件等多種因素的影響。

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