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半導體制造顯微鏡的應用介紹
閱讀：1356 發(fā)布時間：2022-12-9
半導體制造過程中顯微鏡應用在哪些領域呢，今天小編簡單和大家介紹一下。
電子產(chǎn)品在日常生活中應用越來越廣泛，人們對產(chǎn)品質(zhì)量要求也越來越高，因此半導體制造過程中，一個好的ic芯片設計，制造尤為重要。
晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓:在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性.功能之IC產(chǎn)品。半導體制造過程可分為前段制程(晶圓處理制程、晶圓針測制程)和后段(構(gòu)裝、測試制程)。下面小編和大家介紹一下顯微鏡應用。
在半導體制造過程中，顯微鏡應用比較多。在前段制程制的晶圓處理制程中，蝕刻后就需要用到光學顯微鏡。在后段的構(gòu)裝過程中，晶圓研磨、晶圓上片、晶圓切割、焊線、印字、檢驗等都需要用到顯微鏡，生產(chǎn)線也將根據(jù)檢測需求選擇不同的顯微鏡哦。比如在晶圓上片后，該生產(chǎn)線上的負責人將采用抽檢的方式觀察晶圓上片是否偏移、是否溢膠，膠是否太厚或太薄等問題。此時，常用的檢測顯微鏡是工具測量顯微鏡。