平面度誤差測量的常用方法有如下幾種：
 

　　1、平晶干涉法：
 

　　用光學(xué)平晶的工作面體現(xiàn)理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。主要用于測量小平面，如量規(guī)的工作面和千分尺測頭測量面的平面度誤差。
 

　　平面是由直線組成的，因此直線度測量中直尺法、光學(xué)準(zhǔn)直法、光學(xué)自準(zhǔn)直法、重力法等也適用于測量平面度誤差。測量平面度時，先測出若干截面的直線度，再把各測點(diǎn)的量值按平面度公差帶定義(見形位公差)利用圖解法或計算法進(jìn)行數(shù)據(jù)處理即可得出平面度誤差。也有利用光波干涉法和平板涂色法測量平面誤差的。
 

　　2、打表測量法：
 

　　打表測量法是將被測零件和測微計放在標(biāo)準(zhǔn)平板上，以標(biāo)準(zhǔn)平板作為測量基準(zhǔn)面，用測微計沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線方向進(jìn)行測量。打表測量法按評定基準(zhǔn)面分為三點(diǎn)法和對角線法：三點(diǎn)法是用被測實(shí)際表面上相距遠(yuǎn)的三點(diǎn)所決定的理想平面作為評定基準(zhǔn)面，實(shí)測時先將被測實(shí)際表面上相距遠(yuǎn)的三點(diǎn)調(diào)整到與標(biāo)準(zhǔn)平板等高；對角線法實(shí)測時先將實(shí)際表面上的四個角點(diǎn)按對角線調(diào)整到兩兩等高。然后用測微計進(jìn)行測量，測微計在整個實(shí)際表面上測得的大變動量即為該實(shí)際表面的平面度誤差。
 

　　3、液平面法：
 

　　液平面法是用液平面作為測量基準(zhǔn)面，液平面由 “連通罐”內(nèi)的液面構(gòu)成，然后用傳感器進(jìn)行測量。此法主要用于測量大平面的平面度誤差。
 

　　4、光束平面法：
 

　　光束平面法是采用準(zhǔn)值望遠(yuǎn)鏡和瞄準(zhǔn)靶鏡進(jìn)行測量，選擇實(shí)際表面上相距遠(yuǎn)的三個點(diǎn)形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準(zhǔn)面。
 

　　5、激光平面度測量儀：
 

　　激光平面度測量儀用于測量大型平面的平面度誤差平面度測量平面度測量現(xiàn)場。
 

　　6、利用數(shù)據(jù)采集儀連接百分表測量平面度誤差的方法
 

　　測量儀器：偏擺儀、百分表、數(shù)據(jù)采集儀。