半導體流量控制器(Mass Flow Controller)是基于業(yè)內的流量傳感器芯片，結合高速采樣處理技術和數字補償算法，所開發(fā)的一款更緊湊的氣體質量流量控制器產品。該產品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，超高的集成度使該產品能夠縮小一半體積，可以更好的適用于空間要求嚴格的安裝場所。
 

　　根據控制原理，半導體流量控制器可以分為兩大類：
 

　　1、定流量控制器：這種流量控制器是用來控制氣體的流量在設定的范圍內，不受其他因素的影響。它具有控制精度高、穩(wěn)定性好、操作簡單的優(yōu)點。
 

　　2、變量流量控制器：這種流量控制器可以根據設定的氣體流量以及實際的氣體流量自動調節(jié)，以保證氣體的流量在設定的范圍內。它具有控制精度高、穩(wěn)定性好、操作簡單的優(yōu)點，同時還可以根據實際需要自動調節(jié)氣體的流量。
 

　　根據使用場景，半導體流量控制器可以分為以下幾種類型：
 

　　1、防腐蝕流量控制器：這種流量控制器可以在腐蝕性環(huán)境下使用，具有較強的耐腐蝕性。
 

　　2、高精度流量控制器：這種流量控制器具有較高的控制精度，可以滿足高精度的氣體流量控制要求。
 

　　3、快速響應流量控制器：這種流量控制器具有較快的響應速度，可以滿足快速變化的氣體流量控制要求。