熱偶真空計(jì)

熱偶真空計(jì)的規(guī)管由加熱燈絲和熱電偶組成。熱電偶通常由鉑銠或康銅-鎳鉻制成。熱偶真空計(jì)利用熱電偶的溫度變化來(lái)測(cè)量壓強(qiáng)的變化。當(dāng)氣體的壓強(qiáng)降低時(shí)，熱電偶接點(diǎn)的溫度隨熱絲溫度的升高而增大，從而熱電偶的電動(dòng)勢(shì)也增大。通過(guò)測(cè)量熱電偶的電動(dòng)勢(shì)變化，可以間接確定真空度的大小。

電離真空計(jì)

電離真空計(jì)是目前廣泛使用的真空測(cè)量計(jì)，利用氣體分子電離的原理進(jìn)行真空度測(cè)量。根據(jù)氣體電離源的不同，電離真空計(jì)分為熱陰極電離真空計(jì)和冷陰極電離真空計(jì)。熱陰極電離真空計(jì)包括普通型、超高真空型和低真空型。電離真空計(jì)的工作原理是通過(guò)發(fā)射極發(fā)射電子，經(jīng)過(guò)加速極加速并收集電子，電子在加速極和收集極之間反復(fù)運(yùn)動(dòng)，并與氣體分子發(fā)生碰撞，使氣體分子電離產(chǎn)生正離子。通過(guò)測(cè)量正離子的電流大小，可以確定真空室中的氣體壓強(qiáng)。

對(duì)于真空鍍膜機(jī)而言，采用電離真空計(jì)可以快速連續(xù)地測(cè)量待測(cè)氣體的總壓強(qiáng)，而且電離計(jì)規(guī)管體積小、易于連接。然而，需要注意的是，在高于10-1Pa的高壓強(qiáng)下使用電離計(jì)會(huì)降低規(guī)管壽命甚至導(dǎo)致?lián)p壞，因此應(yīng)避免在高壓強(qiáng)下工作。此外，當(dāng)真空系統(tǒng)暴露于大氣環(huán)境或使用一段時(shí)間后，電離計(jì)規(guī)管的內(nèi)表面和電極可能會(huì)吸附氣體，影響真空測(cè)量的準(zhǔn)確性，因此需要定期進(jìn)行規(guī)管的除氣處理。