青島芯笙微納

專注于氣體質量流量計和氣體質量流量控制器

青島芯笙微納電子科技有限公司在氣體質量流量計技術方面，具有完整的設計、制造、封裝和測試技術。

以S300系列流量控制器產(chǎn)品為例，其特點如下：

穩(wěn)定的流量控制技術：

1

氣體流量控制是基于流量傳感器和比例閥在PID控制算法的作用下實現(xiàn)，所采用的PID算法一般具有動態(tài)調整功能，可以適配工況進行動態(tài)調整，從而實現(xiàn)快速的流量切換以及穩(wěn)定流量輸出。下圖為10L 流量控制器的最大流量點穩(wěn)定性對比，以10SLM流量點為例，本產(chǎn)品波動±8sccm，三臺競品分別為±13sccm，±116sccm，±19.5sccm。(數(shù)據(jù)由第三方MFM記錄，黃線為我司產(chǎn)品）

圖1.2三款10L 流量控制器在滿量程點的波動對比

溫補補償技術研究：

2

溫度補償（Temperature compensation)，大幅度溫度變化會對傳感器靈敏度、電路系統(tǒng)、氣路結構等關鍵部件產(chǎn)生微弱影響，通常在0-50℃范圍內有3%左右到讀數(shù)誤差（無溫補情況下），如下圖所示。本公司流量計，采用全量程溫度方法，進行精確溫度補償，用于保證滿量程范圍內溫漂誤差控制在1%以內。

圖1.3MFC-E10 L流量下的溫度補償效果測試數(shù)據(jù)

流量計壓損研究：

3

流量計壓損（Pressure loss）是流量計的關鍵指標之一，是保證流量計正常工作的最di壓力差。流量計壓損一般隨流量的增大而增大，同時受到解決方案的影響，芯片上熱式流量計壓損，遠小于渦街流量計和差壓式流量計。