一種基于壓電控制閥的MEMS質(zhì)量流量控制器
發(fā)證機構(gòu)：
國家知識產(chǎn)權(quán)局

生效日期：
2021-12-07

截止日期：
長期
認證簡介：

一種基于壓電控制閥的MEMS質(zhì)量流量控制器

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