MFC-E系列可控制、經(jīng)濟型質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內(nèi)*的微機電（MEMS）流量傳感器芯片技術(shù)，結(jié)合高速采樣處理技術(shù)和數(shù)字補償算法，所開發(fā)的一款智能化、高精度可進行準確的質(zhì)量流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有進口電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，具有精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好等特點。操作使用方便，可任意位置安裝，廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。輸出信號可選擇：4-20mA和1-5V模擬信號，以及RS485等數(shù)字通信方式。

MFC-E系列可控制、經(jīng)濟型質(zhì)量流量控制器應(yīng)用于：半導(dǎo)體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術(shù)、表面處理 、食品和制藥、化工（石化）等過程控制

產(chǎn)品特點：

溫度和壓力不敏感

*的零點穩(wěn)定性

超快的響應(yīng)速度

良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性

多種信號輸出方式

配備進口比例電磁閥