半導體流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內的微機電（MEMS）流量傳感器芯片，結合高速采樣處理技術和數字補償算法，所開發(fā)的一款更緊湊的氣體質量流量控制器產品。該產品配備有進口電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，超高的集成度使該產品能夠縮小一半體積，可以更好的適用于空間要求嚴格的安裝場所。

產品應用于：半導體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術、表面處理、食品和制藥、化工（石化）等過程控制、氣體混合配比

半導體流量控制器產品特點：

溫度和壓力不敏感

設計勁湊，可安裝任意位置

*的零點穩(wěn)定性

超快的響應速度

良好的重復性和再現性

采用液晶觸控顯示和控制

配備進口比例電磁閥