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JSM-IT200-掃描電子顯微鏡
  • JSM-IT200-掃描電子顯微鏡
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貨物所在地:浙江杭州市

地: 日本

更新時(shí)間:2024-09-13 21:00:06

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JSM-IT200掃描電子顯微鏡,是用聚焦電子束在試樣表面逐點(diǎn)掃描成像,成像信號(hào)可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。二次電子信號(hào)被探測(cè)器收集轉(zhuǎn)換成電訊號(hào),經(jīng)視頻放大后輸入到顯像管柵極,調(diào)制與入射電子束同步掃描的顯像管亮度,得到反映試樣表面形貌的二次電子像。用來(lái)測(cè)定樣品微觀形貌結(jié)構(gòu),可測(cè)樣品:土壤、水、金屬、巖礦、煤炭、油料、塑料、陶瓷、植物、保健品等多種樣品,

 JSM-IT200掃描電子顯微鏡

主窗口 Z e r o m a g 觀察ー

使用主窗口顯示的樣品架示意圖和光學(xué)C C D 圖像 *1 ,能尋找視野和定位 分析位置。

顯示譜圖和顯示元素 顯示譜圖和顯示元素 Live Analysis 分析 *2

通過顯示譜圖和顯示元素,能確認(rèn)正在觀察中的視野的譜圖及主要元素。

數(shù)據(jù)管理圖標(biāo) 數(shù)據(jù)管理圖標(biāo) SMILE VIEW

T M

L a b 數(shù)據(jù)集中管理ー按下數(shù)據(jù)管理圖標(biāo)并顯示數(shù)據(jù)管理窗口后,從 S E M 圖像到分析,對(duì)全部數(shù)據(jù)能創(chuàng)建批量報(bào)告、

查看數(shù)據(jù)并重新分析數(shù)據(jù)。

J S M - I T 2 0 0 在完成樣品交換的同時(shí),開始觀察需要的視野。

按照導(dǎo)航流程操作,也可以安全、方便、可靠地交換樣品。

樣品交換導(dǎo)航

樣品交換導(dǎo)航是從打開樣品室到開始觀察過程中進(jìn)行導(dǎo)航的功能。

Zeromag

只需擴(kuò)大光學(xué)圖像,就可以過渡到 S E M 圖像

Z e r o m a g 功能將與樣品臺(tái)位置關(guān)聯(lián)的樣品架示意圖、C C D 圖像 * (光學(xué)圖像)和S E M 圖像實(shí)現(xiàn)了聯(lián)動(dòng)??梢灾庇^地尋找分析區(qū)域,只需放大光學(xué)圖像就可以過渡到S E M 圖像,因而能防止弄錯(cuò)觀察目標(biāo)和樣品。

Zeromag 的特長(zhǎng)

?能象用光鏡一樣直觀地移動(dòng)視野

?可以預(yù)約多個(gè)分析區(qū)域的測(cè)試

?可以輕松回溯到已測(cè)試完的區(qū)域

Live Analysis

S E M 觀察過程中始終顯示元素分析結(jié)果

利用Live A n a ly s i s 功能,可以不必再分別考慮S E M 觀察和E D S 分析。在觀察窗口上可以隨時(shí)顯示分析區(qū)域內(nèi)的特征X射線譜圖和自動(dòng)定性的主要構(gòu)成元素名稱,還可以發(fā)現(xiàn)感興趣的元素和一些意想不到的元素。

Live Analysis 的特長(zhǎng)

?始終顯示特征X射線譜圖

?通過顯示樣品的主要構(gòu)成元素幫助發(fā)現(xiàn)意想不到的元素。

?對(duì)感興趣元素的標(biāo)注“Alert”

利用SEM觀察窗口上配置的全域/區(qū)域面分布圖圖標(biāo)能獲取整個(gè)觀察區(qū)域或需要區(qū)域的元素面分布圖。

可利用數(shù)據(jù)管理軟件 SMILE VIEWTM Lab 對(duì)采集的數(shù)據(jù)(如用譜圖、元素面分布圖、線分析對(duì)元素的再定位等)進(jìn)行各種分析。

實(shí)時(shí) 凈計(jì)數(shù)面分布圖/定量面分布圖

對(duì)每個(gè)像素點(diǎn)的譜峰進(jìn)行分離,顯示消除了臨近峰影響的元素面分布圖。對(duì)凈計(jì)數(shù)面分布圖進(jìn)一步校正計(jì)算,還有用定量值顯示的定量面分布圖。

強(qiáng)度面分布圖和凈計(jì)數(shù)面分布圖

Pb-Mα (2.342 keV)的譜峰 Bi-Mα (2.419 keV) 的譜峰很接近,在強(qiáng)度面分布圖中很難把BiPb的峰*分開。通過顯示凈計(jì)數(shù)面分布圖,可以確認(rèn)Bi元素原有的分布。

JSM-IT200掃描電子顯微鏡技術(shù)規(guī)格

設(shè)備型號(hào)

IT200

基本性能

二次電子像分辨率

3 nm (30 kV, 高真空)

8 nm (3 kV, 高真空)

15 nm (1 kV, 高真空)

背散射電子像分辨率

4.0 nm (30 kV, 高真空)

加速電壓

0.5 to 30kV

放大倍數(shù)

5x to 300,000x

EDS 分析

電制冷方式Dry SDD extra detector (不用液氮)

EDS 分析位置: WD 10 mm, 取出角 35

電子光學(xué)系統(tǒng)

電子槍

工廠預(yù)對(duì)中燈絲

電子槍偏壓

無(wú)縫式自偏壓

聚光鏡

可變焦聚光鏡

物鏡

超級(jí)圓錐形物鏡

物鏡光闌

3段式可動(dòng)(XY軸微調(diào))

像散存儲(chǔ)器

內(nèi)置

圖像移動(dòng)

±50μmWD 10 mm

探測(cè)器

二次電子探測(cè)器

高靈敏度半導(dǎo)體型背散射電子探測(cè)器

自動(dòng)化功能

自動(dòng)燈絲加熱

內(nèi)置

自動(dòng)槍對(duì)中

內(nèi)置

自動(dòng)聚焦

內(nèi)置

自動(dòng)消像散

內(nèi)置

自動(dòng)亮度和對(duì)比度調(diào)整

內(nèi)置

樣品室

*樣品尺寸

150 mm (直徑)

可支持的選購(gòu)附件

EDS, WDS, EBSD, CLD, SHIC, SCU, Raman

樣品臺(tái)

X

0 ~ 80 mm

Y

0 ~ 40 mm

Z

5 ~ 48 mm

R

360

T

-10 ~ 90

*視野范圍

127 mm (直徑)

*樣品高度

48 mm

馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

2 (X, Y)

圖像顯示系統(tǒng)

PC?OS

Windows®10

顯示器

24” LCD

圖像存儲(chǔ)像素

320x240, 640x480, 1280x960, 2560x1920, 5120x3840 pixels

圖像保存格式

Format: BMP, TIFF, JPEG

操作系統(tǒng)

操作導(dǎo)航器

 

位于顯示屏下端的操作導(dǎo)航器可控制以下功能:用戶管理, 樣品交換, 菜單, 成像, 打印, 參數(shù)設(shè)定, 維護(hù)

測(cè)量功能

平行線間距測(cè)量

垂直, 水平, 對(duì)角

2點(diǎn)之間距離測(cè)量

任意2點(diǎn)間距離

圓的測(cè)量

直徑, 2個(gè)圓中心間距離

角度測(cè)量

角度

面積測(cè)量

圓和多角形

計(jì)數(shù)

顆粒統(tǒng)計(jì)

真空系統(tǒng)

類型

全自動(dòng)抽真空系統(tǒng)

油擴(kuò)散泵

420 /

機(jī)械泵

100 /: 1 (6510/A), 2 (6510LV/LA)

外觀

基本單元尺寸

750 mm () x 1,000 mm () x 1,445 mm ()

基本單元重量

325 公斤

安裝要求

室溫

20 ± 5

濕度:

低于60%

供電

單相 AC100 V, 50/60 Hz, 3 kVA

 

E DS 適用于AAnalysis)和LALow V a c u u m &Analysis)配置。

主要技術(shù)規(guī)格

 

 

Basic(標(biāo)配)

Standard

SEM 集成化

SEM 控制軟件內(nèi)置

觀察/分析數(shù)據(jù)的集中管理

SEM 操作窗口上定位分析位置(從SEM GUI上直接分析)

分析位置的圖形顯示

檢測(cè)器

SDD 類型

參照檢測(cè)器列表

譜圖分析

定性分析(譜峰鑒別、自動(dòng)定性)

Visual Peak ID

無(wú)標(biāo)樣定量分析(ZAF 法)

標(biāo)樣定量分析(ZAF 法) *4

 

PHI-RHO-Z(PRZ) 法定量校正法

線分析

線分析(水平、任意方向

元素面分布圖

元素面分布圖(多色顯示、單色顯示、多色合成

*分辨率 4 , 0 9 6 × 3 , 0 7 2

實(shí)時(shí)彈出譜

譜峰分離圖 (凈計(jì)數(shù)面分布圖、定量面分布圖)

實(shí)時(shí)凈計(jì)數(shù)面分布圖

實(shí)時(shí)過濾器

濃度分布曲線

電子束追蹤

連續(xù)分析

譜圖分析、線分析、元素面分布

測(cè)試完的數(shù)據(jù)的統(tǒng)一分析(定性、定量)

蒙太奇功能

自動(dòng)制作蒙太奇(SEM 圖像、元素面分布圖)

多區(qū)域連續(xù)元素面分布圖

顆粒度分析軟件

顆粒度分析 (自動(dòng) / 手動(dòng))&EDS 分析

顆粒度分析數(shù)據(jù)的分類功能

圖形顯示顆粒度分析數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)處理

大區(qū)域的連續(xù)顆粒度分析 EDS 分析

樣品臺(tái)導(dǎo)航系統(tǒng)上設(shè)定測(cè)試范圍

數(shù)據(jù)管理功能和生成報(bào)告

SMILE VIEW TM Lab

幫助功能

幫助導(dǎo)航

離線功能

與設(shè)備主機(jī)獨(dú)立的PC 上可以解析數(shù)據(jù)的離線軟件

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