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當(dāng)前位置:> 供求商機(jī)> 硅片厚度傳感器(SIT-200)
硅片厚度傳感器(SIT-200)中與寬帶光源不同,SIT-200使用高速掃描可調(diào)諧激光器探測被測晶圓。這使得每波長的功率測量更高,從而產(chǎn)生更高的動態(tài)范圍。結(jié)果,例如在濕蝕刻期間/之后,甚至可以在未拋光的晶圓上執(zhí)行厚度測量。
硅片厚度傳感器(SIT-200)的主要特點(diǎn)有:
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