Sercalo MEMS開(kāi)關(guān)由光子系統(tǒng)和電氣驅(qū)動(dòng)接口組成。光開(kāi)關(guān)功能由硅MEMS芯片實(shí)現(xiàn)。在閉鎖SL變型中，雙穩(wěn)態(tài)懸架機(jī)構(gòu)保持后一個(gè)選定狀態(tài)處于斷電狀態(tài)。在非閉鎖SN變體中，當(dāng)電源被移除時(shí)，開(kāi)關(guān)返回到條形狀態(tài)。為了操作開(kāi)關(guān)5V和0V，電源引腳上應(yīng)用該開(kāi)關(guān)，內(nèi)部DC-DC轉(zhuǎn)換器用于為執(zhí)行器控制提供高壓?？刂埔_上的CMOS或TTL邏輯電平可切換靜電執(zhí)行器上的高壓。要在閉鎖變型中設(shè)置開(kāi)關(guān)狀態(tài)，將引腳2分別設(shè)置為邏輯高（5V）10 ms，并選擇相應(yīng)的開(kāi)關(guān)狀態(tài)。靜止時(shí)，銷(xiāo)3和4應(yīng)拉至0 V，且不得浮動(dòng)。在非閉鎖變型中，僅使用針腳2來(lái)設(shè)置開(kāi)關(guān)的狀態(tài)。要設(shè)置交叉狀態(tài)引腳3必須處于邏輯高。當(dāng)引腳3進(jìn)入邏輯低電平或斷電時(shí)，開(kāi)關(guān)返回到bar狀態(tài)。