DSX1000顯微鏡超景深技術(shù)的多場(chǎng)景應(yīng)用探索

產(chǎn)品細(xì)節(jié)與性能

奧林巴斯DSX1000超景深數(shù)碼顯微鏡以模塊化設(shè)計(jì)為核心，集成17種物鏡（含長(zhǎng)工作距離與高數(shù)值孔徑型號(hào)），覆蓋20-7000倍放大范圍。其電動(dòng)變焦光路支持無(wú)縫切換宏觀至微觀觀察，配合±90°可旋轉(zhuǎn)頭部與載物臺(tái)，可對(duì)晶圓、汽車部件等復(fù)雜形狀樣品實(shí)現(xiàn)多角度無(wú)角檢測(cè)。遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)確保全放大范圍內(nèi)圖像失真低于0.1%，XY軸測(cè)量重復(fù)性達(dá)±0.5μm，滿足半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)晶圓缺陷定位的嚴(yán)苛需求。

用材與工藝

機(jī)身采用航空級(jí)鋁合金框架，有效隔離外部振動(dòng)；光學(xué)部件選用氟化鈣（CaF?）鍍膜鏡片，透光率提升至98.5%，配合235萬(wàn)像素彩色CMOS傳感器（1/1.2英寸），在7000倍放大下仍可保持60fps實(shí)時(shí)成像。載物臺(tái)承重達(dá)5kg，支持100mm×100mm電動(dòng)行程與±20°旋轉(zhuǎn)，適配大型機(jī)械零件檢測(cè)場(chǎng)景。

參數(shù)表與型號(hào)

用途與案例

在半導(dǎo)體制造中，DSX1000通過(guò)MIX照明模式可同時(shí)捕捉晶圓表面劃痕與內(nèi)部層間缺陷；汽車行業(yè)利用其長(zhǎng)工作距離物鏡檢測(cè)發(fā)動(dòng)機(jī)缸體毛刺，避免傳統(tǒng)顯微鏡碰撞風(fēng)險(xiǎn)；材料科學(xué)領(lǐng)域則通過(guò)3D重建功能分析金屬疲勞裂紋擴(kuò)展路徑，為材料改性提供數(shù)據(jù)支持。

使用說(shuō)明

1. 樣品固定：使用磁性?shī)A具固定金屬樣品，避免振動(dòng)干擾；

2. 參數(shù)預(yù)設(shè)：通過(guò)“PERCiV for DSX1000"軟件加載半導(dǎo)體檢測(cè)模板，自動(dòng)匹配照明強(qiáng)度與對(duì)比度；

3. 多角度采集：旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)至45°角，切換至偏光模式觀察應(yīng)力分布；

4. 數(shù)據(jù)分析：導(dǎo)出3D模型至SolidWorks，進(jìn)行逆向工程仿真。