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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 50萬-100萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
DSX1000顯微鏡宏觀到微觀連續(xù)觀察解決方案
DSX1000突破傳統(tǒng)顯微鏡倍率切換斷層，通過電動(dòng)變焦系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)20-7000倍無縫過渡。其核心優(yōu)勢在于“宏觀地圖"功能：在7000倍觀察晶圓微缺陷時(shí)，屏幕同步顯示該區(qū)域在20倍整體圖像中的位置，避免分析過程中定位丟失。六種觀察模式（含新增簡易偏振）支持一鍵切換，例如從明場觀察電路板焊點(diǎn)切換至暗場檢測鍍層均勻性僅需0.3秒。
| 參數(shù)項(xiàng) | 規(guī)格 |
|---|---|
| 放大倍率 | 20-7000X（依賴物鏡配置） |
| 物鏡數(shù)量 | 17種（含0.35mm-66.1mm工作距離） |
| 照明方式 | LED環(huán)形光/同軸落射光/透射光 |
| 觀察方法 | 明場/暗場/MIX/偏光/DIC/微分干涉 |
| 圖像輸出 | 2D高清圖/3D模型/測量數(shù)據(jù) |
| 典型型號 | DSX1000-SZH（標(biāo)準(zhǔn)型） |
| DSX1000-UZH（通用型，含3CMOS模式） |
在半導(dǎo)體制造中，DSX1000通過MIX照明模式可同時(shí)捕捉晶圓表面劃痕與內(nèi)部層間缺陷；汽車行業(yè)利用其長工作距離物鏡檢測發(fā)動(dòng)機(jī)缸體毛刺，避免傳統(tǒng)顯微鏡碰撞風(fēng)險(xiǎn)；材料科學(xué)領(lǐng)域則通過3D重建功能分析金屬疲勞裂紋擴(kuò)展路徑，為材料改性提供數(shù)據(jù)支持。
樣品固定：使用磁性夾具固定金屬樣品，避免振動(dòng)干擾；
參數(shù)預(yù)設(shè)：通過“PERCiV for DSX1000"軟件加載半導(dǎo)體檢測模板，自動(dòng)匹配照明強(qiáng)度與對比度；
多角度采集：旋轉(zhuǎn)載物臺至45°角，切換至偏光模式觀察應(yīng)力分布；
數(shù)據(jù)分析：導(dǎo)出3D模型至SolidWorks，進(jìn)行逆向工程仿真。
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