Sensofar白光干涉輪廓儀為光學(xué)檢測量身打造

干涉模式下的 PSI 技術(shù)能實(shí)現(xiàn)亞納米級縱向分辨率，搭配低倍率物鏡可在大視野下保持高精度，適合透鏡面型檢測。共聚焦模式配合 150x 高倍率物鏡，能測量光學(xué)表面＞70° 的局部斜面。針對高反射樣品，采用抗反射涂層鏡頭，減少光線反射干擾，提升成像質(zhì)量。檢測數(shù)據(jù)符合 ISO 12775 標(biāo)準(zhǔn)，可直接用于光學(xué)元件質(zhì)量評估。

光學(xué)鏡頭選用高均勻性光學(xué)玻璃，經(jīng)過多輪研磨與鍍膜，確保不同區(qū)域透光率一致。設(shè)備框架采用高強(qiáng)度鋁合金，配合底部減震腳墊，能降低環(huán)境振動對檢測的影響。樣品臺真空吸附裝置的材質(zhì)為惰性橡膠，不會與光學(xué)元件表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，保障樣品潔凈。

以透鏡面型誤差檢測為例：1. 將透鏡通過真空吸附固定在平臺上，對準(zhǔn) 0.65X 物鏡；2. 打開 SensoSCAN 軟件，選擇 “光學(xué)面型分析" 模塊；3. 設(shè)置掃描區(qū)域與分辨率，啟動干涉檢測；4. 完成后軟件自動計算 PV（峰谷值）、Rq（均方根偏差）等參數(shù)，生成 3D 面型圖。該設(shè)備可廣泛應(yīng)用于透鏡、棱鏡、反射鏡等光學(xué)元件的面型誤差、粗糙度檢測，以及光學(xué)薄膜厚度均勻性測量。

S neox 憑借精準(zhǔn)的檢測能力與專業(yè)適配，為光學(xué)制造與研發(fā)提供可靠數(shù)據(jù)支持。