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FS4003/FS4008氣體質量流量傳感器

閱讀:153        上傳時間:2021/11/19

FS4003/FS4008氣體質量流量傳感器

FS4003微型流量傳感器,FS4008微型質量流量計詳細介紹

FS4000是采用世界的微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感器技術和智能電子控制技術,專為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量,低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控,還可用于環(huán)境采樣器(如色譜分析儀器等)
FS4003流量傳感器,管道內徑為3mm,成本低測量范圍最大到5SLPM;適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。
FS4008流量傳感器,管道內徑為8mm,測量范圍最大到50SLPM;可用于設備、潔凈氣體檢測,如:空氣采樣機,氣體分析儀等
產品特點:
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計
- 支持多種連接方式,易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳感器的高精度計量
- 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達到了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活,既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù),也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
    - 零點穩(wěn)定度高
    - 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復性
    - 低功耗、低壓損
    - 響應速度快
機械尺寸:FS4003/FS4008氣體質量流量傳感器

產品特點:



性能參數(shù)

FS4003

FS4008

單位

通徑

3

8

mm

最大流量

2, 3, 4, 5

10, 20, 30, 40, 50

SLPM

量程比

100:1


精度

±(1.5+0.2FS)

%

重復性

0.75

%

零點輸出飄移

±30

mV

輸出飄移

0.12

%/oC

響應時間

100

ms

工作電源

8~18Vdc,100mA


輸出方式

線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc


最大流量壓損

100

600

pa

最大工作壓力

0.5

MPa

工作溫度

-10 ~ +55

oC

存儲溫度

-20 ~ +65

oC

工作濕度

<95%RH(無結冰、無凝露)


機械接口

BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭


校準方式

空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa


重量

57(帶R1/4,BSPT1/4接口)
71(帶4mm,8mm快速接口,68(帶6mm快速接頭)

 g

 

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