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FS4003/FS4008氣體質量流量傳感器
FS4003微型流量傳感器,FS4008微型質量流量計詳細介紹
FS4000是采用世界的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）
FS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍最大到5SLPM；適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。
FS4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍最大到50SLPM；可用于設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等
產品特點:
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計
- 支持多種連接方式，易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
- 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 零點穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復性
- 低功耗、低壓損
- 響應速度快
機械尺寸:FS4003/FS4008氣體質量流量傳感器
產品特點:
性能參數(shù) | FS4003 | FS4008 | 單位 |
通徑 | 3 | 8 | mm |
最大流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
量程比 | 100:1 | ||
精度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重復性 | 0.75 | % | |
零點輸出飄移 | ±30 | mV | |
輸出飄移 | 0.12 | %/oC | |
響應時間 | 100 | ms | |
工作電源 | 8~18Vdc,100mA | ||
輸出方式 | 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc | ||
最大流量壓損 | 100 | 600 | pa |
最大工作壓力 | 0.5 | MPa | |
工作溫度 | -10 ~ +55 | oC | |
存儲溫度 | -20 ~ +65 | oC | |
工作濕度 | <95%RH（無結冰、無凝露） | ||
機械接口 | BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭 | ||
校準方式 | 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa | ||
重量 | 57（帶R1/4,BSPT1/4接口） | g | |
