使用條件
?使用環(huán)境：0～50℃ ,0～80%RH
?進氣要求：壓力＞0.1Mpa（無雜質(zhì)）
?進水要求：蒸餾水或去離子水（超純水）

型號 SG-01A SG-05A SG-10A SG-50A
流量范圍（可調(diào)） 0.5uL/min-1000uL/min 1mL/min-5mL/min 1mL/min-10mL/min 5mL/min-50mL/min
工作電壓 220V AC 220V AC 220V AC 220V AC
精度 ±1%
出口溫度 120℃-300℃（可按要求定制過熱蒸汽850℃）
壓力 常壓（可按要求定制）
壽命 ≥5年
響應(yīng)時間 5秒
功率 300瓦（依據(jù)汽化量變化）
使用壽命 ≥5年
外形尺寸（可定制） 240*320*240mm（依據(jù)汽化量變化）
恒流雙柱塞泵（可選蠕動泵、注射泵、雙柱塞泵）
每微步注射量 0.13uL
線速度范圍 4.69u1/min-270.00m1/min
流量范圍 0.0001uL/min-158.909m1/min
線性推力 >3kgf
控制精度 控制精度 當(dāng)>30%滿行程時，控制誤差≤±0.5％
重復(fù)精度 ≤±0.3％

型號 SG-01A SG-05A SG-10A SG-50A
流量范圍（可調(diào)） 0.5uL/min-1000uL/min 1mL/min-5mL/min 1mL/min-10mL/min 5mL/min-50mL/min
工作電壓 220V AC 220V AC 220V AC 220V AC
精度 ±1%
出口溫度 120℃-300℃（可按要求定制過熱蒸汽850℃）
壓力 常壓（可按要求定制）
壽命 ≥5年
響應(yīng)時間 5秒
功率 300瓦（依據(jù)汽化量變化）
使用壽命 ≥5年
外形尺寸（可定制） 240*320*240mm（依據(jù)汽化量變化）
恒流雙柱塞泵（可選蠕動泵、注射泵、雙柱塞泵）
每微步注射量 0.13uL
線速度范圍 4.69u1/min-270.00m1/min
流量范圍 0.0001uL/min-158.909m1/min
線性推力 >3kgf
控制精度 控制精度 當(dāng)>30%滿行程時，控制誤差≤±0.5％
重復(fù)精度 ≤±0.3％



五、原理圖