利用電阻效應(yīng)原理，綜合技術(shù)混合擴(kuò)散，沿單晶硅片特征結(jié)晶方向，形成應(yīng)變電阻，構(gòu)成惠斯長(zhǎng)椅橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在所有硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，形成了集力敏和力電轉(zhuǎn)換檢測(cè)為一體的擴(kuò)散硅壓力傳感器。

選擇的心得。

1、傳感器、變送器的選擇。

用戶應(yīng)根據(jù)自己測(cè)量的壓力性質(zhì)，首先決定表壓(與當(dāng)?shù)卮髿鈮合啾?、差壓、壓力或負(fù)壓品種。測(cè)量液位時(shí)，確定液位上方是自由大氣壓還是密封容器壓力。測(cè)量密封承壓容器內(nèi)的液位時(shí)，應(yīng)選擇差壓產(chǎn)品。

2.產(chǎn)品量程的確定。

從產(chǎn)品安全的角度來(lái)看，一般選擇使工作壓力值在標(biāo)準(zhǔn)量程值的60%-80%為宜，測(cè)量系統(tǒng)整體可能發(fā)生的異常情況下，過(guò)載壓力不得超過(guò)產(chǎn)品允許的zui大過(guò)載。測(cè)量動(dòng)態(tài)管道液體壓力時(shí)，還應(yīng)考慮水垂效應(yīng)，適當(dāng)增加產(chǎn)品載重量。

3.產(chǎn)品精度的選擇。

產(chǎn)品等級(jí)按多個(gè)參數(shù)分類，等級(jí)越高，價(jià)格越高。用戶可以根據(jù)檢查情況要求各項(xiàng)和某項(xiàng)參數(shù)精度指標(biāo)，以低價(jià)實(shí)現(xiàn)高精度要求。產(chǎn)品提供的三個(gè)精度指標(biāo)是用zui小二乘法或終端平移法計(jì)算的。選擇傳感器時(shí)，精度等級(jí)應(yīng)根據(jù)測(cè)量系統(tǒng)分配給傳感器的zui大誤差選項(xiàng)。有時(shí)也要考慮到零位漂流、零位置和滿溫度系數(shù)帶來(lái)的附加誤差。

4、選擇產(chǎn)品的使用溫度范圍。

一些系列的變送器在組裝電路后進(jìn)行了綜合溫度補(bǔ)償。補(bǔ)償范圍在個(gè)別產(chǎn)品介紹中顯示。對(duì)于使用溫度范圍廣、總精度高的用戶，也可以在二次儀表數(shù)據(jù)處理中使用軟件進(jìn)行溫度誤差修正。超過(guò)補(bǔ)償區(qū)使用，溫度系數(shù)指標(biāo)可能超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)，但仍可使用。長(zhǎng)期在溫度極限區(qū)工作，產(chǎn)品的使用壽命會(huì)大大縮短。

5、差壓傳感器、變送器的選擇。

通用差壓傳感器、變送器通常用于高壓側(cè)壓力高于低壓側(cè)壓力的正差壓時(shí)，擴(kuò)散硅傳感器也可用于負(fù)差壓，一般來(lái)說(shuō)兩個(gè)引壓側(cè)基本對(duì)稱，但負(fù)壓側(cè)一般不標(biāo)定，用戶要求兩個(gè)引壓側(cè)的高對(duì)稱性時(shí)，需要特別通知。低壓端用于系統(tǒng)中可能出現(xiàn)的超負(fù)量程。

6.頻響特性。

擴(kuò)散硅壓力傳感器的固有頻率與其他產(chǎn)品相比較高，除此之外，傳感器結(jié)構(gòu)的引壓腔結(jié)構(gòu)參數(shù)的影響和傳感器結(jié)構(gòu)的基體剛性體的尺寸的影響很多，后者不能長(zhǎng)，主要是引壓腔的影響。

7.與測(cè)量介質(zhì)的一致。

傳感器、變送器的連接和電子外殼由各種結(jié)構(gòu)材料生產(chǎn)。具有不同介質(zhì)的互換性，為了取得*的使用效果，不會(huì)因介質(zhì)不一致而損壞產(chǎn)品，用戶在選擇必須理解介質(zhì)的正確名稱、濃度、溫度。

產(chǎn)品安裝使用注意事項(xiàng)。

螺紋連接的產(chǎn)品在安裝和拆卸時(shí)，必須用扳手緊緊六方操作，安裝時(shí)不能擰緊，嚴(yán)禁夾住其他部分安裝、拆卸，以免損壞相關(guān)部件。引壓孔端不得有尖硬物體伸入，以免損壞敏感膜或隔離膜，嚴(yán)禁敲打、沖擊和摔倒。

擴(kuò)散硅傳感器的零位輸出不能直接用單臂連接電阻法消除，可以用軟件零位輸入法、差動(dòng)輸入修正法、t型電阻網(wǎng)絡(luò)修正等。

使用壓力傳感器時(shí)應(yīng)注意以下事項(xiàng)：

一、防止變送器接觸腐蝕性或過(guò)熱的介質(zhì)；

二是防止渣滓在管道中沉淀；

三、當(dāng)測(cè)量液壓時(shí)，取壓口應(yīng)設(shè)在流水線的側(cè)面，以避免積渣。

4.當(dāng)測(cè)量氣壓時(shí)，取壓口應(yīng)開在流量管頂部，并應(yīng)在流量管上方安裝傳送器，使積聚的液體易于注入流量管。

5.應(yīng)在溫度波動(dòng)不大的地方安裝壓力管道；

6.在測(cè)量蒸汽或其他高溫介質(zhì)時(shí)，需要接上緩沖管(盤管)等冷凝器，并且不能使變送器的工作溫度超過(guò)其極限。

7.冬季出現(xiàn)冰凍時(shí)，必須按照安裝在室外的變送器采取防凍措施，以避免引壓口處的液體因結(jié)冰體積膨脹而導(dǎo)至傳感器損壞。

8.當(dāng)測(cè)量液體壓力時(shí)，傳送器的安裝位置應(yīng)避免液體沖擊(水擊)，以免傳送器壓力過(guò)大而損壞。

9.接線時(shí)，電纜應(yīng)穿過(guò)防水接頭(附件)或繞性管子，并擰緊封口，以防雨水等滲入電纜傳送器外殼內(nèi)。