工作原理：

　　根據(jù)光波的干涉原理，儀器本身產(chǎn)生的可見(jiàn)光通過(guò)單色濾光片濾掉雜散光，變成了單一相位的光波，此光波通過(guò)掃描器掃描到被測(cè)量的光學(xué)材料上，與光學(xué)材料本身產(chǎn)生的光波發(fā)生了光波干涉，從而產(chǎn)生干涉條紋，兩個(gè)光波的波面間也產(chǎn)生連續(xù)的相位變化，干涉標(biāo)準(zhǔn)鏡和圖像采集器將獲取的干涉波的干涉條紋信號(hào)捕捉到后輸入計(jì)算機(jī)，經(jīng)專業(yè)軟件將獲取的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和擬合，在計(jì)算機(jī)顯示器上獲得了模擬的圖形，達(dá)到了光學(xué)材料的測(cè)量（彎度、平面、三維圖像）其精度可達(dá)3.5納米量級(jí)，掃描范圍擴(kuò)展到縱向20mm，且具有較高的自動(dòng)化程度和目鏡可以更換的人性化設(shè)計(jì)。

　　

　　3D光學(xué)干涉輪廓儀其3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學(xué)干涉技術(shù)組成的測(cè)量系統(tǒng)，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng)，保證了測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，可視化窗口，結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能，自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過(guò)程。