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離子濺射儀的故障現(xiàn)象和解決方法
閱讀：403 發(fā)布時(shí)間：2023-2-13
離子濺射儀是用來給SEM掃描電鏡中非導(dǎo)電樣品鍍膜，使得樣品擁有良好的導(dǎo)電性能，避免產(chǎn)生荷電效應(yīng)，從而能看到更好的電鏡效果圖。我司提供的鍍膜儀有噴金儀和鍍碳儀，以及鍍金鍍碳一體的離子濺射儀。其中噴金儀用的原理即是離子濺射，離子濺射的噴金儀可用于大部分樣品，尤其是對熱敏感的生物樣品，而鍍碳儀用的則是熱蒸鍍，因?yàn)殄兡み^程會產(chǎn)生高溫，所以不適合熱敏感樣品鍍膜。
故障現(xiàn)象：使用一段時(shí)間后，濺射電流變小
解決方法：對靶材有無變色、破裂和油污等現(xiàn)進(jìn)行檢查。前兩者對靶材進(jìn)行更換，后者被油蒸汽污染，通過無水乙醇進(jìn)行清潔，等到干了以后才能夠抽真空。
故障現(xiàn)象：在使用一段時(shí)間以后，有著過低的真空。
解決方法：對濺射室中或管道內(nèi)是否有油進(jìn)行檢查，能夠使用汽油進(jìn)行清洗。
故障現(xiàn)象：濺射電流不穩(wěn)定忽高忽低
解決方法：陰極罩與靶的固定環(huán)有著過近的距離，將陰極罩逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，對間距進(jìn)行調(diào)整。
故障現(xiàn)象：有著過低的真空
解決方法：將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊。
離子以1-3kev的能量轟擊陰極靶，當(dāng)其能量高于靶材原子的結(jié)合能時(shí)，靶材原子或者原子簇，脫離靶材，又經(jīng)過與等離子體中的殘余氣體碰撞，因此方向各異，當(dāng)落在樣品表面時(shí)，可以在粗糙的樣品表面形成厚度均一的金屬薄膜，而且與樣品的結(jié)合強(qiáng)度高。