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場發(fā)射掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡之間的比較
閱讀：662 發(fā)布時(shí)間：2023-3-21
場發(fā)射掃描電子顯微鏡是高分辨率電子顯微鏡中的一種，相對(duì)于透射電子顯微鏡（TEM），其最大的區(qū)別在于掃描電子顯微鏡（SEM）中的電子束是以特定方式掃描樣品表面，而不是穿過樣品內(nèi)部，從而可以獲得樣品表面的圖像和信息。以下是掃描電子顯微鏡的一些具體區(qū)別：
1.分辨率：SEM的分辨率通常在納米至亞納米級(jí)別，比TEM要稍低一些，但對(duì)于樣品表面形態(tài)和結(jié)構(gòu)的觀察和分析，已經(jīng)足夠應(yīng)用于許多領(lǐng)域。
2.樣品要求：由于掃描電子顯微鏡是在真空條件下進(jìn)行操作的，因此樣品必須是干凈的、不易揮發(fā)的、導(dǎo)電性強(qiáng)的，如金屬、陶瓷或者沒有太多的表面草酸鹽的非金屬材料，但這個(gè)限制已經(jīng)不是很大的問題，因?yàn)橛泻芏喾椒梢杂糜谔幚順悠返碾妼?dǎo)性和表面清潔。
3.成像模式：TEM在成像時(shí)是通過成像鏡頭在樣品內(nèi)部進(jìn)行成像的，而SEM則是通過電子束掃描在樣品表面進(jìn)行成像。SEM的掃描模式分為兩種，一種是圖案成像模式，類似于電視屏幕的成像方式，每次掃描一個(gè)圖案進(jìn)行成像；另外一種是逐行成像模式，類似于傳統(tǒng)電子顯微鏡，但只掃描樣品表面，成像時(shí)需要對(duì)樣品進(jìn)行一定程度的運(yùn)動(dòng)以獲得整個(gè)樣品表面的圖像。
4.成像信息：SEM可以提供樣品表面形貌及其微觀結(jié)構(gòu)、表面元素成分和形態(tài)分布等更為具體的信息，而TEM則可以提供樣品內(nèi)部的微觀結(jié)構(gòu)信息。
總之，場發(fā)射掃描電子顯微鏡作為一種*的顯微技術(shù)，越來越得到廣泛的應(yīng)用，不僅在物理學(xué)、化學(xué)、材料學(xué)等基礎(chǔ)科學(xué)研究中，還在醫(yī)學(xué)、生物學(xué)、電子工程、環(huán)境保護(hù)和地球科學(xué)等領(lǐng)域中發(fā)揮了重要作用。