場發(fā)射掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡之間的比較
閱讀:725 發(fā)布時間:2023-3-21
場發(fā)射掃描電子顯微鏡是高分辨率電子顯微鏡中的一種,相對于透射電子顯微鏡(TEM),其最大的區(qū)別在于掃描電子顯微鏡(SEM)中的電子束是以特定方式掃描樣品表面,而不是穿過樣品內部,從而可以獲得樣品表面的圖像和信息。以下是掃描電子顯微鏡的一些具體區(qū)別:
1.分辨率:SEM的分辨率通常在納米至亞納米級別,比TEM要稍低一些,但對于樣品表面形態(tài)和結構的觀察和分析,已經足夠應用于許多領域。
2.樣品要求:由于掃描電子顯微鏡是在真空條件下進行操作的,因此樣品必須是干凈的、不易揮發(fā)的、導電性強的,如金屬、陶瓷或者沒有太多的表面草酸鹽的非金屬材料,但這個限制已經不是很大的問題,因為有很多方法可以用于處理樣品的電導性和表面清潔。
3.成像模式:TEM在成像時是通過成像鏡頭在樣品內部進行成像的,而SEM則是通過電子束掃描在樣品表面進行成像。SEM的掃描模式分為兩種,一種是圖案成像模式,類似于電視屏幕的成像方式,每次掃描一個圖案進行成像;另外一種是逐行成像模式,類似于傳統(tǒng)電子顯微鏡,但只掃描樣品表面,成像時需要對樣品進行一定程度的運動以獲得整個樣品表面的圖像。
4.成像信息:SEM可以提供樣品表面形貌及其微觀結構、表面元素成分和形態(tài)分布等更為具體的信息,而TEM則可以提供樣品內部的微觀結構信息。
總之,場發(fā)射掃描電子顯微鏡作為一種*的顯微技術,越來越得到廣泛的應用,不僅在物理學、化學、材料學等基礎科學研究中,還在醫(yī)學、生物學、電子工程、環(huán)境保護和地球科學等領域中發(fā)揮了重要作用。