NanoX-2000/3000系列3D光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光垂直掃描干涉測量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級測量準確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。

NanoX-2000/3000系列3D光學干涉輪廓儀優(yōu)勢

?美國硅谷研發(fā)的核心技術(shù)和系統(tǒng)軟件

?關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等品牌

?PI納米移動平臺及控制系統(tǒng)

?Nikon干涉物鏡

?NI信號控制板和Labview64控制軟件

?TMC光學隔振臺

?測量準確度重復(fù)性達到高級水平(中國計量科學研究院證書)