目錄:筱曉（上海）光子技術(shù)有限公司>>光學(xué)測(cè)量?jī)x器>>光譜分析儀>> XUV/EUV 寬帶軟X射線(xiàn)高分辨率光譜儀 2-100nm
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更新時(shí)間：2024-12-08 15:32:50瀏覽次數(shù)：789評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,建材,電子 | 組成要素 | 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品及設(shè)備 |
具有高分辨率和效率的多功能光譜儀
隨著在半導(dǎo)體制造中使用 13.5 nm輻射的 EUV 光刻技術(shù)的發(fā)展，極紫外輻射（EUV、XUV）已成為一個(gè)重要的工業(yè)意義。這導(dǎo)致對(duì)高分辨率和靈敏的診斷和測(cè)量技術(shù)的需求。因此，我們構(gòu)建了一個(gè)模塊化的 XUV / EUV 和軟 X 射線(xiàn)光譜儀，可用于等離子體光譜學(xué)、源診斷和計(jì)量學(xué)。它te別適用于激光等離子體源（LPS）和高次諧波源（高次諧波產(chǎn)生high harmonic generation，HHG）。
該光譜儀設(shè)計(jì)靈活，適用于多種應(yīng)用。對(duì)于廣泛的幾何形狀，可以獲得非常高的光譜分辨率。通常，分辨率僅受檢測(cè)器系統(tǒng)像素大小的限制（XUV CCD 為 13.5 µm）。光譜儀的所有部件都是 UHV 級(jí)的。
寬帶高光譜分辨率
普通光譜儀針對(duì)一個(gè)波長(zhǎng)的特定分辨率進(jìn)行了優(yōu)化。相比之下，我們的專(zhuān)業(yè)設(shè)計(jì)可在寬帶寬下實(shí)現(xiàn)高分辨率。例如，我們的 XUV 光譜儀在 12-41 nm 的整個(gè)帶寬內(nèi)達(dá)到<0.08 2="" 100="" nm="">10000 的超高分辨率。
操作方式及可用性
我們靈活的光譜儀提供多種操作模式，可以在操作過(guò)程中改變。
通過(guò)使用行程范圍為幾厘米的多軸電動(dòng)工作臺(tái)，用戶(hù)可以輕松地對(duì)設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)。此外，可以在光束路徑中在線(xiàn)放置不同的光學(xué)器件來(lái)測(cè)量不同的光束特性。該光譜儀具有以下工作模式:(1)XUV光束檢測(cè)，(2)角分辨光譜，(3)高效、光譜分辨率高的成像光譜。
下圖為角分辨光譜(a、b)和成像光譜(c、d)的測(cè)量結(jié)果。
我們提供
優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品
為您的應(yīng)用程序全定制
2-100 nm 的光譜范圍
高達(dá) λ/Δλ > 10000 的高分辨率
多功能設(shè)置：電動(dòng)載物臺(tái)和自適應(yīng)法蘭
不透光的設(shè)置：可以集成遮光罩
超高真空 (UHV, < 10-9 mbar) 條件
在線(xiàn)操作模式&對(duì)準(zhǔn)&光束檢測(cè)
狹縫和無(wú)狹縫設(shè)置
出色的信噪比 (SNR) 和Max. 的光收集效率
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
會(huì)員.png)
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