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INHA-mini氣體質(zhì)量流量控制器-數(shù)字型
基于多年的經(jīng)驗(yàn)，我們未來將會(huì)成為一家專門從事真空部件銷售的公司，并且我們將始終致力于為真空行業(yè)中的工作人員提供幫助。我們?cè)趯W(xué)校和研究機(jī)構(gòu)中從事真空相關(guān)研究已有多年經(jīng)驗(yàn)。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
INHA-mini氣體質(zhì)量流量控制器-數(shù)字型
您好！歡迎來到仁荷微電子
基于多年的經(jīng)驗(yàn)，我們未來將會(huì)成為一家專門從事真空部件銷售的公司，并且我們將始終致力于為真空行業(yè)中的工作人員提供幫助。我們?cè)趯W(xué)校和研究機(jī)構(gòu)中從事真空相關(guān)研究已有多年經(jīng)驗(yàn)。
我們還專門從事MFC的研究和生產(chǎn)，并進(jìn)口代理和銷售用MFC。此外，我們配備了校準(zhǔn)器，可以通過提供MFC專業(yè)維修和組裝來解決技術(shù)問題和交貨時(shí)間。
公司本著“追求好、精益求精"的精神，提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和快捷，細(xì)致，可靠的服務(wù)，精誠合作，共同進(jìn)步！
INHA-mini氣體質(zhì)量流量控制器-數(shù)字型
| 氣體質(zhì)量流量控制器V10 MINI-DC | ||
| ?三維尺寸圖 | ||
| 單位：mm | ||
| 叮山 川叮 | ||
| 特征 | ||
| -更快的響應(yīng)速度 | ||
| -全數(shù)字架構(gòu) | ||
| -穩(wěn)定的流量控制 | ||
| -寬壓力范圍 | ||
| -優(yōu)良的耐腐蝕性 | ||
| -出色的線性度 | ||
| -新型傳感制作工藝，精度高 | ||
| -Mini型，體積小，節(jié)省空間 | ||
| 妄 | ||
| • Sccm,Slm表示標(biāo)準(zhǔn)氣體流量(20°C 101.3Kpa) | ||
| ?廠品規(guī)格 | ||
| 型號(hào) | V10 MINI-DC | |
| 流量規(guī)格（N2 ） 控制量程 準(zhǔn)確度 線性精度 重復(fù)精度 響應(yīng)時(shí)間 正常工作溫度范圍 正常工作壓力范圍 漏率 電源 信號(hào)類型 密封類型 控制類型 連接器類型 氣路接口類型 接口類型 材質(zhì) 預(yù)熱時(shí)間 | 3SCCM-5SLM 2%~100% of Full Scale <±1.0% of Full Scale <±0.5% of Full Scale <±0.2% of Full Scale<1 sec 0~50°C(Accuracy Guaranteed: 15~35°C) 0~10 Bar(g) 1x10-9 atm. cc/sec He + 14Vdc~+27Vdc/300mA 0-5V or Rs485 (Modbus Rtu) Viton/Buna/Kal rez/Teflon/Epdm Normally Closed Solenoid D-Sub 9 Pin Connector Male 1/4" , l/8n , LOK Digital Type SUS 316L 15 min (Accuracy Guaranteed : 30 min ) | |
| BE | ||
| 48 | ||
| 60 | ||
| 107.40 | ||
| ?電氣連接 | ||
| ci mum | ||
| fill | ||
| Mass Flow Controller | ||
| and Meter | ||
| V10 MINI-D | ||
| INHA | ||
| FLOW-> | ||
| I | ||
| 電氣連接方式 | | 數(shù)字型（模擬信號(hào)兼容） | |
| 編號(hào) | 功能 | V10 MINI-DC |
| 1 | 地 | • |
| 2 | + 14V-+27V 電源 | • |
| 3 | Rs-485 B(-) | • |
| 4 | 信號(hào)公共端 | • |
| 5 | 閥控 | • |
| 6 | 信號(hào)輸出 | • |
| 7 | 電源公共端 | • |
| 8 | 信號(hào)輸入 | • |
| 9 | Rs-485 A(+) | • |