您好, 歡迎來(lái)到化工儀器網(wǎng)

| 注冊(cè)| 產(chǎn)品展廳| 收藏該商鋪

0535-2981985

technology

首頁(yè)   >>   技術(shù)文章   >>   光子橋接激光鍵合在激光退火和激光鉆孔的應(yīng)用

魔技納米科技有限公司

立即詢價(jià)

您提交后,專屬客服將第一時(shí)間為您服務(wù)

光子橋接激光鍵合在激光退火和激光鉆孔的應(yīng)用

閱讀:1142      發(fā)布時(shí)間:2023-2-7
分享:
光子橋接優(yōu)勢(shì):
1、實(shí)現(xiàn)硅基光電芯片網(wǎng)絡(luò)之間低損耗連接;
2、實(shí)現(xiàn)硅基光子芯片網(wǎng)絡(luò)連接自動(dòng)化,提升連接效率;
3、提升每毫米芯片尺度連接密度,提升硅基光子芯片集成度;
4、實(shí)現(xiàn)三維空間硅基光子芯片間自由連接。
光子橋接激光鍵合方式具有無(wú)需壓力、無(wú)高溫殘余應(yīng)力、無(wú)需強(qiáng)電場(chǎng)干擾等諸多優(yōu)勢(shì)。
激光退火: 
激光退火技術(shù)主要用于修復(fù)半導(dǎo)體材料,尤其是硅。傳統(tǒng)的加熱退火技術(shù)是把整個(gè)晶圓放在真空爐中,在一定的溫度(一般是300-1200℃)下退火10-60min。這種退火方式并不能完全消除缺陷,高溫卻導(dǎo)致材料性能下降,摻雜物質(zhì)析出等問題。因此從上世紀(jì)末開始,激光退火的研究就變得十分活躍,發(fā)展出毫秒級(jí)脈沖激光退火、納秒級(jí)脈沖激光退火和高頻Q開關(guān)脈沖激光退火等多種激光退火方法。近些年來(lái),激光退火已在國(guó)內(nèi)外取得了一些成熟的應(yīng)用。激光退火主要優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在: 
(1)加熱時(shí)間短,能夠獲得高濃度的摻雜層; 
(2)加熱局限于局部表層,不會(huì)影響周圍元件的物理性能; 
(3)能夠能到半球形的很深的接觸區(qū); 
(4)由于激光束可以整形到非常細(xì),為微區(qū)薄層退火提供了可能。
激光鉆孔: 
激光鉆孔廣泛用于金屬、PCB、玻璃面板等領(lǐng)域的鉆孔。

會(huì)員登錄

請(qǐng)輸入賬號(hào)

請(qǐng)輸入密碼

=

請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

標(biāo)簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)

常用:

提示

您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~
在線留言