淺述sem電子掃描電鏡樣品制備的要求
閱讀:2694 發(fā)布時間:2022-5-25
sem電子掃描電鏡的工作原理是用一束極細的電子束掃描樣品,在樣品表面激發(fā)出次級電子,次級電子的多少與電子束入射角有關,也就是說與樣品的表面結構有關,次級電子由探測體收集,并在那里被閃爍器轉變?yōu)楣庑盘?,再?jīng)光電倍增管和放大器轉變?yōu)殡娦盘杹砜刂茻晒馄辽想娮邮膹姸?,顯示出與電子束同步的掃描圖像。
今天咱們來了解下sem電子掃描電鏡樣品制備的要求:
1、塊狀樣品的制備
對于塊狀導電樣品,基本上不需要進行什么制備,只要其大小適合電鏡樣品底座尺寸大小,即可直接用導電膠帶把樣品黏結在樣品底座上,放到掃描電鏡中觀察,為防止假象的存在,在放試樣前應先將試樣用丙酮或酒精等進行清洗,必要時用超聲波清洗器進行清洗。對于塊狀的非導電樣品或導電性較差的樣品,要先進行鍍膜處理,否則,樣品的表面會在高強度電子束作用下產(chǎn)生電荷堆積,影響入射電子束斑和樣品發(fā)射的二次電子運動軌跡,使圖像質(zhì)量下降,因此這類樣品要在觀察前進行噴鍍導電層的處理,在材料表面形成一層導電膜,避免樣品表面的電荷積累,提高圖象質(zhì)量,并可防止樣品的熱損傷。
2、粉末樣品的制備
對于導電的粉末樣品,應先將導電膠帶黏結在樣品座上,再均勻地把粉末樣撒在上面,用洗耳球吹去未黏住的粉末,即可用電鏡觀察。對不導電或導電性能差的,要再鍍上一層導電膜,方可用電鏡觀察。為了加快測試速度,一個樣品座上可以同時制備多個樣品,但在用洗耳球吹未黏住的粉末時,應注意不要樣品之間相互污染。
對于粉末樣品的制備應注意以下幾點:
?。?)盡可能不要擠壓樣品,以保持其自然形貌狀態(tài)。
(2)特細且量少的樣品,可以放于乙醇或者合適的溶劑中用超聲波分散一下,再用毛細管滴加到樣品臺上的導電膠帶上(也可用牙簽點一滴到樣品臺上),晾干或強光下烘干即開。
?。?)粉末樣品的厚度要均勻,表面要平整,且量不要太多,1g左右即可,否則容易導致粉末在觀察時剝離表面,或者容易造成噴金的樣品的底層部分導電性能不佳,致使觀察效果的對比度差。