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一文與您分享掃描電子電鏡的詳細(xì)操作方法
閱讀：939 發(fā)布時(shí)間：2023-3-13
掃描電子電鏡（SEM）是利用電子束來照射樣品表面，然后通過接收電子束的信號(hào)，產(chǎn)生高分辨率的圖像的一種現(xiàn)代化的分析工具。本文將介紹掃描電子電鏡的操作方法：
1.準(zhǔn)備工作
?。?）確保設(shè)備能正常運(yùn)行；
（2）準(zhǔn)備樣品并安裝好；
（3）檢查探針長(zhǎng)度是否恰當(dāng)；
?。?）檢查吸附泵是否處于運(yùn)行狀態(tài)。
2.調(diào)整SEM
在進(jìn)行掃描電子顯微鏡之前，您需要確保設(shè)備已被校準(zhǔn)和調(diào)整。這包括：
?。?）調(diào)整顯微鏡，以獲得聚集的電子束；
?。?）確定樣品表面的中心位置；
?。?）校準(zhǔn)電子束的縮放比例和對(duì)焦位置；
?。?）確定合適的操作條件，如加速電壓、溫度和壓力。
3.開始掃描
完成了調(diào)整后，您可以啟動(dòng)SEM掃描。這包括：
?。?）將加速電壓設(shè)置為適當(dāng)?shù)闹狄钥刂齐娮邮囊龑?dǎo)；
?。?）將樣品聚焦在所選方向上，并調(diào)整探針的偏移量；
?。?）調(diào)整電子束的形狀和大小以獲得最佳的分辨率；
?。?）清潔測(cè)試區(qū)以確保清晰的掃描圖像。
4.獲取掃描圖像
當(dāng)SEM充分調(diào)整后，您可以開始獲取掃描圖像。此過程包括：
?。?）確定光學(xué)顯微鏡和掃描電鏡之間的交互；
?。?）將光標(biāo)移至圖像上，以捕獲其表面項(xiàng)目的細(xì)節(jié)；
（3）調(diào)整掃描速度和樣品位置，以獲得更全面的圖像。
5.瀏覽和保存樣品
然后您需要將樣品從顯微鏡中拆出并安排保存。這可以通過在以下過程中完成：
（1）檢查樣品的表面質(zhì)量和精細(xì)度；
?。?）檢查樣品的軟件屬性，并進(jìn)行分析和處理；
?。?）將樣品歸檔在電子顯微鏡圖像庫中。
結(jié)論
掃描電子顯微鏡是一種現(xiàn)代化的分析工具，在許多領(lǐng)域中起著關(guān)鍵作用。這篇文章介紹了操作的過程和感興趣的方面，以幫助您更好地理解其原理和工作方法。