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簡(jiǎn)述小型掃描電鏡的常見(jiàn)問(wèn)題解決方法
閱讀：1848 發(fā)布時(shí)間：2023-5-15
小型掃描電鏡是一種基于樣品的表面形貌進(jìn)行成像的顯微鏡，由于其高放大倍數(shù)、高空間分辨率以及高深度分辨率等特點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)藥、地質(zhì)化學(xué)、環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域。但是在使用過(guò)程中，可能會(huì)出現(xiàn)一些常見(jiàn)問(wèn)題，這里為大家介紹幾種常見(jiàn)問(wèn)題的解決方法：
1、樣品不平衡或破碎
當(dāng)在電子槍下加速電壓較高時(shí)，有時(shí)樣品會(huì)因?yàn)殡x心力不平衡而產(chǎn)生晃動(dòng)，導(dǎo)致成像失真。此時(shí)需要檢查樣品裝夾是否合適，并且均勻固定在掛鉤上。如果樣品發(fā)生了破碎，也可能是輸送和接收樣品的方法不正確，需要適當(dāng)調(diào)整。
2、樣品粗糙或吸濕
在使用時(shí)，對(duì)于樣品的制備，尤其是表面情況，非常重要。粗糙的表面會(huì)導(dǎo)致圖像模糊，而吸濕則可能導(dǎo)致帶電粒子在SEM上聚集，從而影響分辨率和圖像質(zhì)量。因此，為了得到更好的樣品成像效果，需要對(duì)樣品進(jìn)行仔細(xì)處理，并保證剛剛上載入到SEM室內(nèi)的樣品表面清潔和干燥。
3、檢測(cè)不到電子信號(hào)
在使用時(shí)，出現(xiàn)無(wú)信號(hào)故障是很常見(jiàn)的一個(gè)問(wèn)題。這可能是由于電子槍工作異?；蜉斔瓦^(guò)程中管道出現(xiàn)故障所引起的。如果發(fā)生此類情況，可以檢查電源開(kāi)關(guān)和線路是否正常，如果必要可以讓廠家提供售后服務(wù)。
4、場(chǎng)致發(fā)射電子槍陰極降解
使用電子槍及其周圍的構(gòu)件時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量的高能電子束，惡劣情況下可能導(dǎo)致電子槍結(jié)構(gòu)部件的磨損和腐蝕，從而影響儀器性能甚至使之損壞。因此，在平時(shí)的使用中，需要定期檢查、清潔和更換受損、降解的部件，以確保處于良好的工作狀態(tài)。
總的來(lái)說(shuō)，針對(duì)小型掃描電鏡常見(jiàn)故障，我們可以通過(guò)認(rèn)真檢查設(shè)備故障以及定期對(duì)其系統(tǒng)和部件進(jìn)行檢查和保養(yǎng)等方式降低設(shè)備故障發(fā)生的幾率，從而延長(zhǎng)其使用壽命。