高重復(fù)性的配氣
對溫度和壓力漂移，環(huán)境適應(yīng)性好
對前端壓力波動不敏感
寬量程精度保持能力
（例如20%~100%或10%~100%量程范圍內(nèi)達到±1%S.P.）
要求對低濃度的NH3/SO2/CO等氣體有較好的抗污染能力
動態(tài)校準儀簡化原理框圖
提高動態(tài)校準儀連續(xù)穩(wěn)定的輸出濃度，易度提供了MCF100系列層流壓差式質(zhì)量流量控制器作為標準配氣元件，選用閥門后置型產(chǎn)品，可監(jiān)測前端氣體壓力，并選取了幾種不同的量程，典型氣體流量為100SCCM和10SLPM的質(zhì)量流量控制器，精度為±1.0% S.P.。
內(nèi)置的比例調(diào)節(jié)閥和流量傳感器具有高分辨率和穩(wěn)定性
內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器，具有-20~50℃，0~1MPa的寬環(huán)境適應(yīng)性
層流壓差式流量控制器具有極快的反饋控制速度，對前端壓力不敏感
層流壓差式流量控制器具有寬量程精度保持能力的原理性優(yōu)勢
層流壓差式原理，高性能壓力、壓差傳感器和比例閥門是長期可靠性的基石
自研的壓力和壓差傳感器對低濃度腐蝕性氣體不敏感，有較好的抗污染能力
易度流量控制器采用層流壓差式原理，在氣體流量控制的精度和重復(fù)性上有明顯的優(yōu)勢，100:1的量程比（可定制更高量程比），在小流量段也能實現(xiàn)毫秒級快速控制。比例調(diào)節(jié)閥在設(shè)計中充分考慮密封性和內(nèi)漏問題，將客戶的關(guān)鍵關(guān)注點解決，幫助客戶將動態(tài)配氣儀提升到更高品質(zhì)和更優(yōu)性能。
MCF100系列氣體質(zhì)量流量控制器
流量范圍：0.1SCCM~5000SLPM
通訊方式：RS485(Modbus RTU）（其他可選）
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