目錄:沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>管式爐>> GSL-1100X-XX-S大口徑管式爐
參考價(jià) | 面議 |
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更新時(shí)間:2019-01-25 16:54:08瀏覽次數(shù):927評(píng)價(jià)
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 加熱方式 | 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長(zhǎng)使用壽命) |
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價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 升溫速度(達(dá)到最高溫) | ≤10℃/min/min |
儀器種類 | 管式爐 |
產(chǎn)品型號(hào) | GSL-1100X-6-S2 | GSL-1100X-8.5-S2 | GSL-1100X-11-S2 | ||
主要特點(diǎn) | 爐體結(jié)構(gòu) 設(shè)備中配有2個(gè)氧化鋁管堵,設(shè)備使用時(shí)必須把管堵塞入到爐管兩端(保證恒溫區(qū)和密封圈的密封性) 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長(zhǎng)爐膛使用壽命) 該爐可作為退火或擴(kuò)散爐,大可用于8”晶片放在對(duì)應(yīng)石英舟中
密封法蘭 采用鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm和O形密封圈加上機(jī)械泵可使真空度達(dá)到10-2Torr(參考值) 可選購(gòu)一套溫度測(cè)試裝置(鎧裝熱偶、補(bǔ)償導(dǎo)線和溫度儀表),用于測(cè)試爐管內(nèi)部的溫度 左側(cè)水冷法蘭:真空壓力表、不銹鋼針形閥和1/4”寶塔嘴接頭 右側(cè)水冷法蘭:kf40真空接口,方便連接到kf40適用的波紋管、泵和kf40擋板閥。(如果您的泵是kf25接口,需要一個(gè)kf40-kf25轉(zhuǎn)接頭) 溫控系統(tǒng) 包含一款YD518P型溫度控制器 PID自動(dòng)控溫系統(tǒng) 智能化30段可編程控制 控溫精度:±1℃ 兩個(gè)溫區(qū)分別有兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口 通過(guò)MET認(rèn)證 質(zhì)量認(rèn)證 所有電器元件(>24V)都通過(guò)UL/MET/CSA/CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。 質(zhì)保期 一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 | ||||
技術(shù)參數(shù) | 高純石英管尺寸 | ||||
規(guī)格1: 152 OD x 143 ID x 1320mm L 規(guī)格2: 152 OD x 143 ID x 1020mm L | 規(guī)格1: 216 OD x 206 ID x 1320mm L 規(guī)格2: 216 OD x 206 ID x 1020mm L | 規(guī)格1: 279 OD x 269 ID x 1320mm L 規(guī)格2: 279 OD x 269 ID x 1020mm L | |||
熱偶:K型熱偶 建議升溫速率:≤10℃/min 溫度:1000℃ (1100℃<1h) 電源:AC220,50Hz 大8KW 加熱區(qū) 規(guī)格1:加熱區(qū)長(zhǎng)度:600mm 雙溫區(qū):300mm+300mm; 規(guī)格2:加熱區(qū)長(zhǎng)度:900mm 雙溫區(qū):450mm+450mm 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長(zhǎng)使用壽命) | |||||
產(chǎn)品規(guī)格 | 規(guī)格1:1880 L x 700W x 930 H mm;規(guī)格2:2180 L x 700W x 930 H mm;約200 kg | ||||
可選配件 | 石英舟 | ||||
大可兼容4”直徑基片
| 大可兼容6”直徑基片 | 大可兼容8”直徑基片
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溫控系統(tǒng):可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù) | |||||
溫度校準(zhǔn) | |||||
定期對(duì)管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn),可保持溫度的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在我公司選購(gòu)一個(gè)簡(jiǎn)單的校準(zhǔn)工具包,輔助您完成這項(xiàng)工作,完整的校準(zhǔn)套件包括 48”L(1/4”OD)K型熱電偶校準(zhǔn) 一Omega溫度校準(zhǔn)器 熱電偶補(bǔ)償線 您可以考慮分子泵,真空度可達(dá)10-5Torr
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真空系統(tǒng) 多種真空系統(tǒng)可選 可選購(gòu)一個(gè)冷真空阱,以避免真空泵造成污染 | |||||
使用注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |
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