MLS-1730系列三維納米定位臺產(chǎn)品由預(yù)堆疊的LS-1730系列納米馬達(dá)組成，即裝即用。所有產(chǎn)品均可在空氣、高真空、超高真空以及無磁環(huán)境下使用。

　　平臺內(nèi)可選擇配置高性能傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋，實(shí)現(xiàn)0.05%F.S.重復(fù)定位精度。P12B.XYZ100壓電掃描臺掃描范圍可達(dá)100μm/軸，閉環(huán)掃描精度高，直線運(yùn)動無偏航。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于表面測量、顯微成像等應(yīng)用領(lǐng)域，同時適用于真空應(yīng)用，滿足客戶真空應(yīng)用需求。

　　特點(diǎn)

　　· 三維XYZ向運(yùn)動

　　· 行程100μm/軸

　　· 中心通孔?10mm

　　· 適用于真空應(yīng)用

　　應(yīng)用領(lǐng)域

　　· 掃描顯微/表面測量

　　· 共焦顯微/半導(dǎo)體測試

　　· 晶圓定位/圖像處理與穩(wěn)定

　　· 光纖定位/光學(xué)掃描

產(chǎn)品描述：MLS-1730-2D所用定位臺為LS-1730，運(yùn)動為21x21mm。

三維納米定位臺參數(shù)：