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MLS-1730-2D-三維納米定位臺
  • MLS-1730-2D-三維納米定位臺
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貨物所在地:江蘇蘇州市

更新時間:2024-06-23 21:00:06

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MLS-1730系列三維納米定位臺產(chǎn)品由預堆疊的LS-1730系列納米馬達組成,即裝即用。所有產(chǎn)品均可在空氣、高真空、超高真空以及無磁環(huán)境下使用。MLS-1730-2D所用定位臺為LS-1730,運動為21x21mm。

MLS-1730系列三維納米定位臺產(chǎn)品由預堆疊的LS-1730系列納米馬達組成,即裝即用。所有產(chǎn)品均可在空氣、高真空、超高真空以及無磁環(huán)境下使用。

  平臺內(nèi)可選擇配置高性能傳感器進行全閉環(huán)反饋,實現(xiàn)0.05%F.S.重復定位精度。P12B.XYZ100壓電掃描臺掃描范圍可達100μm/軸,閉環(huán)掃描精度高,直線運動無偏航。產(chǎn)品廣泛應用于表面測量、顯微成像等應用領(lǐng)域,同時適用于真空應用,滿足客戶真空應用需求。

  特點

  · 三維XYZ向運動

  · 行程100μm/軸

  · 中心通孔?10mm

  · 適用于真空應用

  應用領(lǐng)域

  · 掃描顯微/表面測量

  · 共焦顯微/半導體測試

  · 晶圓定位/圖像處理與穩(wěn)定

  · 光纖定位/光學掃描

產(chǎn)品描述:MLS-1730-2D所用定位臺為LS-1730,運動為21x21mm。

三維納米定位臺參數(shù):

概觀
軸數(shù)2
所用的定位臺LS-1730
運動行程[mm]21x21
XY 最大負載[N]10
靠板安裝尺寸[mm]60x60x25 (L x W x H)
直接安裝尺寸[mm]30x30x20 (L x W x H)
選配
材質(zhì)標配為鋁底座;可選配鋼座(-ST)、鈦基(-TI);均黑色陽極氧化(-BK)
真空兼容 (1E-6 mbar)-HV
高真空兼容 (1E-11 mbar)可根據(jù)要求定制
無磁可根據(jù)要求定制
* 所有技術(shù)規(guī)格參數(shù)均為近似值,由于產(chǎn)品持續(xù)研發(fā),我們保留更改技術(shù)規(guī)格的權(quán)利,恕不另行通知。


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