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GTK150擴散泵高真空系統(tǒng)具體設(shè)備的技術(shù)參數(shù)

閱讀:1214        發(fā)布時間:2022-4-24

一、機組技術(shù)參數(shù)

1、機組輸入電壓:220V/380V

2、波紋管:KF40*1000mm

3、真空擋板閥:KF40

4、機箱尺寸:600*600*600mm

 

二、擴散泵技術(shù)參數(shù)

 

 擴散泵型號

  TK150

  入口直徑

  150mm

  抽氣速率L/S(對空氣)

  1000L

  建議啟動壓強

  <10 Pa

  極限壓強(Pa)  

  7×10-5

  排氣口法蘭

  KF40

  功率

  1.2KW

  輸入電壓頻率(V/Hz)

  220V

  環(huán)境溫度(℃)

  0~40

  前級泵型號

  FX-16

  冷卻方式

  水冷

  冷卻水溫度(℃)

  <25

  安裝方式

  垂直

  注油量

  0.3L

  重量(公斤)

  40

  產(chǎn)品型號

  FFX-16

 

三、真空泵參數(shù)

擴散泵泵前級真空泵FFX-16  (擴散泵必須要配此前級泵)

功率

  0.75KW

  電壓

  380V

  轉(zhuǎn)速

  1450rpm

  進氣口徑

  KF25/KF40

  前機泵抽氣速率(L/S)

  4

  極限壓強

  4X10 -2Pa

 

 


四、復(fù)合真空計技術(shù)參數(shù)

復(fù)合真空計型號

  ZDF

  電源

  220V 55W

  控制精度

  ± 1%

  真空計測量范圍

 10-5 -10 5 Pa

 


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