GTK150擴散泵高真空系統(tǒng)具體設(shè)備的技術(shù)參數(shù)
一、機組技術(shù)參數(shù)
1、機組輸入電壓:220V/380V
2、波紋管:KF40*1000mm
3、真空擋板閥:KF40
4、機箱尺寸:600*600*600mm
二、擴散泵技術(shù)參數(shù)
擴散泵型號 | TK150 |
入口直徑 | 150mm |
抽氣速率L/S(對空氣) | 1000L |
建議啟動壓強 | <10 Pa |
極限壓強(Pa) | 7×10-5 |
排氣口法蘭 | KF40 |
功率 | 1.2KW |
輸入電壓頻率(V/Hz) | 220V |
環(huán)境溫度(℃) | 0~40 |
前級泵型號 | FX-16 |
冷卻方式 | 水冷 |
冷卻水溫度(℃) | <25 |
安裝方式 | 垂直 |
注油量 | 0.3L |
重量(公斤) | 40 |
產(chǎn)品型號 | FFX-16 |
三、真空泵參數(shù)
擴散泵泵前級真空泵FFX-16 (擴散泵必須要配此前級泵)
功率 | 0.75KW |
電壓 | 380V |
轉(zhuǎn)速 | 1450rpm |
進氣口徑 | KF25/KF40 |
前機泵抽氣速率(L/S) | 4 |
極限壓強 | 4X10 -2Pa |
四、復(fù)合真空計技術(shù)參數(shù)
復(fù)合真空計型號 | ZDF |
電源 | 220V 55W |
控制精度 | ± 1% |
真空計測量范圍 | 10-5 -10 5 Pa |